下载砷化镓晶体生长用石英玻璃管的制备方法的技术资料

文档序号:7831176

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本发明是一种砷化镓晶体生长用石英玻璃管的制备方法,其特征在于:将石英玻璃原料高纯石英砂投入连熔炉内,通过电加热熔融,熔融后的石英玻璃液经成形器、料台及拉管机拉制成石英玻璃管;所述的高纯石英砂是含有以下掺杂原素的二氧化硅材料。本发明方法中的原...
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