一种基于平面光波导的光传感系统技术方案

技术编号:7808393 阅读:170 留言:0更新日期:2012-09-27 06:37
本发明专利技术提供了一种基于平面光波导的光传感系统,包括集成设置在CMOS芯片上的光传感器和与所述光传感器连接的运算电路,所述光传感器由传感单元阵列而成,所述传感单元包括平面光波导、耦合光栅和PN结,所述耦合光栅将所述平面光波导输出的光信号耦合至所述PN结,所述PN结与所述运算电路连接。其有益效果是:通过COMS工艺将平面光波导与光传感器集成在同一芯片上,具有结构简单,易于加工和大规模生产的优点。

【技术实现步骤摘要】
一种基于平面光波导的光传感系统
本专利技术涉及光传感领域,具体地涉及一种基于平面光波导的光传感系统。
技术介绍
目前,光传感技术作为信息科学技术的一个重要分支,在光通信、工业过程控制、环境监测和国家安全等众多方面都有着十分重要的应用。光传感技术可以解决电传感技术存在的灵敏度低、易受干扰、感应时间较长、检测某些化学气体不安全等方面的问题;相比之下,光传感器具有灵敏度高、体积小、抗电磁干扰能力强、便于集成、可在线检测等众多优点。因此在传感领域中,光传感占有越来越重要的地位。 近年来,作为传感器技术中十分重要的一员,光传感技术在许多应用领域得到了长足的发展,目前各种光传感器已广泛应用在各个行业。所谓光传感器就是以光为检测对象,将光信号转换成电信号的器件,通常是指紫外到红外波长范围的传感器,它是利用材料的光电效应制成的探测器,故也称为光电转换器。由于光传感技术具有灵敏度高、体积小、抗电磁干扰能力强、便于集成、可在线检测等众多优点,目前光传感器件在光通信、环境监测等各个领域中得到了广泛的应用和发展。现有技术基于光波导的光传感器有环形波导式光传感器等多种类型。环型波导式光传感器主要由一个环型波导本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种基于平面光波导的光传感系统,包括集成设置在CMOS芯片上的光传感器和与所述光传感器连接的运算电路,其特征在于所述光传感器由传感单元阵列而成,所述传感单兀包括平面光波导、稱合光栅和PN结,所述稱合光栅将所述平面光波导输出的光信号率禹合至所述PN结,所述PN结与所述运算电路连接。2...

【专利技术属性】
技术研发人员:刘若鹏栾琳赵治亚孙豪文
申请(专利权)人:深圳光启高等理工研究院深圳光启创新技术有限公司
类型:发明
国别省市:

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