下载一种基于平面光波导的光传感系统的技术资料

文档序号:7808393

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本发明提供了一种基于平面光波导的光传感系统,包括集成设置在CMOS芯片上的光传感器和与所述光传感器连接的运算电路,所述光传感器由传感单元阵列而成,所述传感单元包括平面光波导、耦合光栅和PN结,所述耦合光栅将所述平面光波导输出的光信号耦合至所...
该专利属于深圳光启高等理工研究院;深圳光启创新技术有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过深圳光启高等理工研究院;深圳光启创新技术有限公司授权不得商用。

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