曝光装置制造方法及图纸

本发明专利技术的曝光装置，具备：光束点生成单元(9)，其接受光源光(L1)并以规定间隔相互错开地至少排列成2列而生成多个光束点；光扫描单元(10)，其使上述多个光束点沿它们的排列方向在各组的规定范围内进行往返扫描；图案产生器(11)，其被配置成使上述多个光束点的往返扫描的中心各自与中心轴一致，且通过对在与上述中心轴平行的对置面设置了一对电极的方柱状的由电光晶体材料构成的多个开关元件进行接通/断开驱动，从而对上述光源光(L1)进行光调制来生成规定的明暗图案；和投影透镜(12)，其将上述明暗图案投影在滤色器基板(5)上，使上述各开关元件在上述光束点的扫描方向的宽度比上述光束点在相同方向的宽度大。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术涉及对由电光晶体材料构成的开关元件进行驱动来生成规定的明暗图案，并将该明暗图案曝光在被曝光体上的曝光装置，详细来说，涉及对曝光位置进行模拟控制来提高曝光图案的定位精度的曝光装置。
技术介绍
现有技术的这种曝光装置，通过将由电光晶体材料构成的多个开关元件在二维平面内进行排列而成的图案产生器，来生成规定的图案，并对正在向一个方向输送的被曝光体曝光该图案，上述图案产生器，在被曝光体的输送方向以规定间隔配置多列开关元件列，并且将相邻的开关元件列彼此在与被曝光体的输送方向正交的方向偏离规定量来进行配置，其中该开关元件列是将多个开关元件在与被曝光体的输送方向正交的方向上以规定间距配置成一条直线状而成的(例如参照专利文献I)。在先技术文献专利文献专利文献I JP特开2007-310251号公报专利技术概要专利技术要解决的课题但是，在这样的现有技术的曝光装置中，由于曝光位置的分辨率由开关元件的端面大小(像素大小)以及开关元件列向与被曝光体的输送方向正交的方向的偏离量而决定，因此为了提高曝光位置的分辨率，必须使像素大小变小，并且使开关元件列向与被曝光体的输送方向正交的方向的偏离量变小，存在图案产生器的制造困难、部件成本提高之虞。
技术实现思路
因此，本专利技术的目的在于，提供一种应对这样的问题，对曝光位置进行模拟控制，以提高曝光图案的定位精度的曝光装置。用于解决课题的技术手段为了实现上述目的，本专利技术的曝光装置，具备光束点生成单元，其接受光源光并以规定间隔相互错开地至少排列成2列而生成多个光束点；光扫描单元，其使上述多个光束点沿它们的排列方向在各自的规定范围内进行往返扫描；图案产生器，其被配置为使上述多个光束点的往返扫描的中心各自与中心轴一致，且通过多个开关元件进行接通/断开驱动，从而对上述光源光进行光调制来生成规定的明暗图案，其中，上述多个开关元件在与上述中心轴平行的对置面设置了一对电极，形状为方柱状，由电光晶体材料构成；和投影透镜，其将上述明暗图案投影在被曝光体上，使上述各开关元件在上述光束点的扫描方向的宽度比上述光束点在相同方向的宽度大。通过采用这样的结构，通过光束点生成单元接受光源光，以规定间隔相互错开地 至少排列成2列以生成多个光束点,通过光扫描单兀使该多个光束点在它们的排列方向上在各自的规定范围内进行往返扫描，通过图案产生器配置为使上述多个光束点的往返扫描的中心各自与中心轴一致，通过对在与该中心轴平行的对置面设置了一对电极的方柱状的由电光晶体材料构成的多个开关元件进行接通/断开驱动，从而对光源光进行光调制来生成规定的明暗图案，通过投影透镜将该明暗图案投影在被曝光体上。这种情况下，通过使各开关兀件在光束点的扫描方向的宽度比光束点在相同方向的宽度大，使光束点在开关兀件上进行扫描，并对开关元件的驱动定时进行控制，从而对被曝光体上的明暗图案的位置进行模拟控制。另外，上述光束点生成单元是将多个聚光透镜在平面内排列而成的微透镜阵列。这样，通过将多个聚光透镜在平面内进行排列而成的微透镜阵列来生成多个光束点。进而，上述光束点生成单元是在平面内排列多个开口而成的光掩模。这样，通过在平面内具有多个开口的光掩模便生成多个光束点。进而，另外，上述光扫描单元在方形块状的电光晶体材料的对置侧面使规定宽度 的一对带状电极按照其长边中心轴与上述侧面的长宽中的任一方的中心轴呈规定角度的方式形成倾斜，并使光在该一对电极之间通过。这样，通过在方形块状的电光晶体材料的对置侧面使规定宽度的一对带状电极按照其长边中心轴与上述侧面中长宽的任一方的中心轴呈规定角度的方式形成倾斜，并使光在该一对电极之间通过的光扫描单兀，使多个光束点分别在规定范围内进行往返扫描。并且，上述被曝光体被设置为沿着与上述光束点的扫描方向大致正交的方向连续地移动。这样，一边在与光束点的扫描方向大致正交的方向对被曝光体进行连续移动，一边进行曝光。专利技术效果根据第一技术方案涉及的本专利技术，由于使开关兀件在光束点的扫描方向的宽度比光束点在相同方向的宽度更大，故而能够使光束点在开关元件上进行扫描。因而，通过对开关元件的驱动定时进行控制，从而能够对通过多个开关元件进行光调制并对在被曝光体上形成的明暗图案的位置进行模拟控制。这样，即使是将多个开关元件至少排列成2列而成的简单构成的图案产生器，也既能够使曝光图案的定位精度提高，又能够降低装置的制造成本。另外，根据第二技术方案涉及的专利技术，能够对光源光进行聚光来生成光束点，能够使光源光的利用效率提高。因此，能够使所使用的光源的功率变小，能够减轻光源的负担。进而，根据第三技术方案涉及的专利技术，能够采用使用光刻技术形成的光掩模来生成多个光束点。因此，能够高精度地形成该多个光束点的形状以及位置，能够进一步提高曝光图案的定位精度。进而，根据第四技术方案涉及的专利技术，能够通过驱动电压对光束点的扫描进行控制。因此，如果预先取开关元件上的光束点的位置与驱动电压之间的相关，便能够根据驱动电压得知开关元件上的光束点的位置，能够由驱动电压控制开关元件的驱动定时。并且，根据第五技术方案涉及的专利技术，能够一边连续地移动被曝光体，一边进行曝光，能够缩短曝光工序的单工序所需时间(tact time)。附图说明图1是表示本专利技术的曝光装置的实施方式的概要图。图2是表示上述实施方式所使用的滤色器基板的一构成例的俯视图。图3是表示本专利技术的曝光装置的光束点生成单元的一构成例的图，(a)为俯视图，(b)为主视图。图4是表示本专利技术的曝光装置的光扫描单元的一构成例的图，(a)为立体图，(b)为图(a)的O箭头方向的视图。图5是表示本专利技术的曝光装置的开关元件组装体的一构成例的俯视图。图6是表示上述开关元件组装体的各开关元件的动作的说明图，(a)表示断开驱动状态，(b)表示接通驱动状态。图7是说明上述开关元件组装体的形成方法的工序图。图8是表示上述开关元件组装体的其他形成方法的说明图，示出最终工序。图9是表示本专利技术的曝光装置的开关元件组装体与拍摄单元之间的位置关系的说明图。图10是表示本专利技术的曝光装置的控制单元的构成的框图。图11是表示对上述光扫描单元进行驱动的驱动信号波形的说明图。图12是表示本专利技术的曝光装置的曝光动作的说明图。图13是表示通过上述曝光动作形成的曝光图案的一例的说明图。具体实施例方式以下，基于附图对本专利技术的实施方式进行详细说明。图I是表示本专利技术的曝光装置的实施方式的概要图。该曝光装置对由电光晶体材料构成的开关元件进行驱动以生成规定的明暗图案，并将该明暗图案曝光在被曝光体上，且具备输送单元I、曝光光学构件2、拍摄单元3、以及控制单元4。以下，针对被曝光体为滤色器基板的情况进行说明。图2是使用于本专利技术的曝光装置的滤色器基板5的俯视图。该滤色器基板5是在透明的玻璃基板的表面形成具备矩阵状的使光透射的多个像素6的黑矩阵而成的。上述输送单元1，将涂布了规定的彩色抗蚀剂的滤色器基板5载置在底座(stage) 7的上表面并向一个方向(图I所示的箭头A方向)连续进行输送，例如通过使电动机和齿轮等进行组合而构成的移动机构对底座7进行移动。或者，也可以在底座7的表面具备气体的喷出口以及吸入口，使气体喷出力出以及吸入力平衡来使滤色器基板5在底座7上以规定量浮起的状态下进行输送。并且，在输送单元I设置用于对滤本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】2009.12.22 JP 2009-2906491.一种曝光装置，其特征在于，具备 光束点生成单元，其接受光源光并以规定间隔相互错开地至少排列成2列，从而生成多个光束点； 光扫描单元，其使上述多个光束点沿它们的排列方向在各自的规定范围内进行往返扫描; 图案产生器，其被配置为使上述多个光束点的往返扫描的中心各自与中心轴一致，且通过对多个开关元件进行接通/断开驱动，从而对上述光源光进行光调制来生成规定的明暗图案，其中，上述多个开关元件在与上述中心轴平行的对置面设置了一对电极，形状为方柱状，由电光晶体材料构成；和 投影透镜，其将上述明暗图案投影在被曝光体上， 使上述各开关兀件...

【专利技术属性】
技术研发人员：水村通伸，
申请(专利权)人：株式会社V技术，
类型：发明
国别省市：