TFT基板检查装置以及TFT基板检查方法制造方法及图纸

包括缺陷检测部，该缺陷检测部基于二次电子检测器的检测信号及热检测器的检测信号，对TFT基板的缺陷进行检测，缺陷检测部包括：TFT阵列缺陷检测部，基于二次电子的检测器的检测信号来对TFT阵列的缺陷进行检测；以及短路缺陷检测部，基于热检测器的检测信号来对短路缺陷进行检测，TFT阵列缺陷检测部依次从基板所具有的多个面板中选择一个面板，进行TFT阵列缺陷检测，短路缺陷检测部同时对基板所具有的全部的面板进行短路缺陷检测。当对于形成有多个面板的基板，进行利用电子束照射的缺陷检测与利用热检测的短路缺陷检测时，使整个基板的缺陷检测时间缩短。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术涉及一种薄膜晶体管(Thin Film Transistor,TFT)基板检查装置，该TFT基板检查装置使用在液晶基板等TFT面板(panel)的制造步骤中的TFT基板检查中。本专利技术特别涉及一种适合于短路(short)缺陷检查的TFT基板检查装置。
技术介绍
对于液晶基板或有机电致发光(Electroluminescence, EL)基板等形成有TFT阵列(array)的半导体基板的制造过程而言，在制造过程中包含TFT阵列检查步骤，在该TFT阵列检查步骤中，对TFT阵列进行缺陷检查。TFT阵列例如是用作液晶显示装置的选择像素(pixel)(像素电极)的开关(switching)元件。包括TFT阵列的基板例如平行地配设有多根作为扫描线而发挥功能 的栅极线(gate line)，并且与栅极线正交地配设有记载为信号线的多根源极线(sourceline),在两线相交叉的部分的附近配设有TFT (Thin film transistor),驱动信号经由该TFT而供给至像素(像素电极)。将液晶层夹在设置有所述TFT阵列的基板与对向基板之间，借此来构成液晶显示装置，在对向基板所具有本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】

【专利技术属性】
技术研发人员：今井大辅，
申请(专利权)人：株式会社岛津制作所，
类型：发明
国别省市：