【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及狭缝式涂布机预备排出装置，该涂布机能把从狭缝状开口部中流下的防蚀剂液体或显像液体、彩色滤色片等的涂布液涂布在如玻璃基板或半导体晶片等的板状被处理物表面。
技术介绍
用狭缝式涂布机连续给多个基板表面供给涂布液的情况下，在涂布作业与涂布作业之间的待机时间，因与空气接触，排出嘴前端部的部分涂布液浓度上升。并且，在这种状态下，如果继续涂布在下一个基板上，会因高浓度化的涂布液产生纵纹，或产生膜裂口。为了消除上述问题，专利文献1中提供了一种现有技术，在保持洗涤液的洗涤槽内配置加注辊，该加注辊的上部比洗涤液更向上方突出，使狭缝涂布机的排出嘴接近突出的加注辊表面，将多余涂布液从排出嘴引出，使其附着在加注辊表面，再去除。专利文献2公开了一种现有技术，其目的在于提高洗涤效率，平流方式中采用二流体喷嘴，省空间、省力、有效地进行洗涤均匀的排放洗涤处理。另外，专利文献3记载了下述内容在把新的液体喷到加注辊上的新液淋洗嘴的上方设有喷出干燥气体的喷气嘴，使加注辊表面干燥。专利文献1特开2001-310147号公报；专利文献2特开2003-145064号公报；专利文献3专利申请...
【技术保护点】
一种狭缝涂布机预备排出装置，其特征在于，洗涤槽、加注辊、新液淋洗嘴和循环液淋洗嘴以加注辊旋转方向为基准，位于循环液淋洗嘴的前方，其中该洗涤槽盛放洗涤液，该加注辊配置在该洗涤槽内并将从狭缝涂布机的排出嘴排出的涂布液附着在表面上并去除，该新液淋洗嘴向加注辊表面喷出新液，该循环液淋洗嘴喷出循环液；喷出干燥气体的气体喷出嘴配置在前述新液淋洗嘴的上方、且比加注辊的垂直方向的中心线更靠近前述新液淋洗嘴的位置上，该气体喷嘴处于垂直方向，从而干燥气体从正上方倾斜地吹在加注辊的表面上。
【技术特征摘要】
...
【专利技术属性】
技术研发人员：山口和伸，高濑真治，谷本恒夫，福留主计，
申请(专利权)人：东京応化工业株式会社，龙云株式会社，
类型：发明
国别省市：JP[日本]
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。