【技术实现步骤摘要】
本专利技术总体上涉及于狭缝涂布机(slit coater)，更具体地，涉及用于将诸如感光溶液、显影剂溶液、以及滤色剂的涂布溶液涂敷到诸如半导体晶片、平板显示(FPD)器件的玻璃基板或者塑料基板的待处理对象上的狭缝涂布机和使用该狭缝涂布机的涂布方法。
技术介绍
当制造平板显示器件或者半导体器件时，多次执行薄膜淀积工艺、对在薄膜中选择的区域进行曝光的光刻工艺、以及去除所选择区域的薄膜的刻蚀工艺。特别地，光刻工艺包括用于在基板或者晶片上形成诸如光刻胶的感光溶液的感光膜的涂布工艺、以及用于通过使用具有预定图案的掩模对感光膜进行构图的曝光和显影工艺。通常，用于在基板和晶片上形成感光膜的涂布工艺使用喷涂方法、辊涂方法、旋涂方法等。因为喷涂方法和辊涂方法不适于实现涂布膜均匀性和膜厚度调节的高精度，所以将旋涂方法用于形成高精度图案。现在参照附图详细地描述旋涂方法中使用的旋涂机。图1是例示出普通旋涂机的结构的剖面图。如图所示，旋涂机包括连接到转轴6的旋转夹具5。罩7包围旋转夹具5并且可以打开和关闭。喷嘴4设置于旋转夹具5的上方并且在罩7打开时移动到罩7中。待处理并被涂布感光膜的...
【技术保护点】
一种狭缝涂布机，包括：待处理对象被安装于其上的操作台；狭缝喷嘴，被构成为将涂布溶液涂敷到所述对象的表面上；预涂敷单元，在该预涂敷单元中狭缝喷嘴预涂敷涂布溶液；以及涂布溶液分离单元，其分离出预涂敷的涂布溶液并排 出所述预涂敷的涂布溶液。
【技术特征摘要】
...
【专利技术属性】
技术研发人员：朴正权，赵康一，权晟，
申请(专利权)人：乐金显示有限公司，
类型：发明
国别省市：KR[韩国]
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