一种镀银铝材料表面制备非晶碳涂层的方法技术

本发明专利技术公开了一种镀银铝材料表面制备非晶碳涂层的方法，包括基体预处理、离子清洗、电弧放电和碳离子沉积；该方法制备的非晶碳薄膜中SP2键结构含量≥50％，表面二次电子发射系数≤1.39；与没有镀ta-C膜的样品相比，表面二次电子发射系数减小35％，是非常适合选用的抑制表面二次电子发射的涂层材料。本发明专利技术提供了一种抑制镀银铝基表面二次电子发射的技术，为大功率微波器件提高二次电子倍增放电的阈值提供一种可行有效的方法。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术属于离子束材料表面改性
，涉及ー种非晶碳涂层的制备方法，尤其是ー种镀银铝材料表面制备非晶碳涂层的方法。
技术介绍
近年来，通信、遥感和卫星系统中使用的大功率微波器件的设计方法和技术手段有了长足的进步。我国通信卫星有效载荷正在向大容量、大信道、大功率方向发展，近年来成功发射的卫星中，最大的单信道饱和功率已高达120W以上。但是，二次电子倍増放电仍然是ー个容易反复发作的问题，因而受到越来越多的关注，抗二次电子倍増放电是卫星技术中的急待解决的问题之ー。减小微波器件表面二次电子发射系数是ー种非常有效的抗二次电子倍增放电的方法，而镀银铝基体表面涂层不同材料特性，以及表面微结构变化等因素都影响表面二次电子发射系数，因此通过改变表面涂层材料及表面微结构能够有效的调控表面二次电子发射系数。可以提高在微波器件中二次电子倍增放电的阈值。目前在铝基表面镀银膜广泛引用于微波器件的抗二次电子倍增放电，但是由于银的二次电子发射系数不是特别小，这ー技术抗二次电子倍增放电的能力有限，因此急需要ー种新的技术手段来减小铝基表面银膜的二次电子发射系数。
技术实现思路
本专利技术的目的在于克服上述现有技术的缺本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：赵玉清，张娜，康永锋，陈仙，
申请(专利权)人：西安交通大学，
类型：发明
国别省市：