流监测的粒子传感器制造技术

提供了用于监测气溶胶粒子计数器中的流率的设备和方法。该粒子传感器具有：粒子计数器；流测量孔，其包括差动压力传感器，用于测量在粒子传感器运行期间该流测量孔两侧的差动压力(DP)；以及临界流孔。真空源拉动周围气体穿过该粒子计数器、该流测量孔和该临界流孔之中的每一个。大气压力传感器测量大气压力(AP)，且工作台压力传感器测量该粒子传感器中的压力(BP)。来自这些传感器的输出被用来识别流状况，诸如通过操作性地连接到该差动压力传感器、该大气压力传感器和该工作台压力传感器之中的每一个的监测器。以此方式，不需要昂贵的传感器或其他流控制部件就能容易地监测流率与目标流率的偏差。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】流监测的粒子传感器相关申请的相互引用本申请要求2009年8月24日提交的美国临时专利申请61/236，318的权益，该美国临时申请在不与本公开内容矛盾的程度上通过引用纳入本文。
技术介绍
气溶胶光学粒子传感器在若干领域都是重要的。例如，微污染工业依靠依赖气溶胶光学粒子传感器的使用来提供对污染的定量评估。气溶胶光学粒子传感器被用于测量洁净室和洁净区中的浮在空中(air-born)的粒子污染。通常，这些粒子传感器是低成本的，且不依赖于内部泵来生成所要求的穿过所述传感器的空气流。取而代之，所述粒子传感器依赖于连接至房屋真空系统来生成流。该流率通常通过将所述真空系统连接到位于所述粒 子传感器中的低成本的临界流孔(critical flow orifice)来控制。为了对所述粒子传感器检测的粒子的浓度进行准确的定量，被引入所述传感器的气体的流率必须是已知的。例如，未检测到的流率下降为15%将导致所确定的粒子污染浓度水平比实际小15%。据此，重要的是，被所述传感器采样的气体的流率要么被测量要么被准确地警报器，以给用户提供指示该流率与特定的用户规定水平有了偏差。用于控制体积流率的临界流孔是一种众所周知的本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...

【专利技术属性】
技术研发人员：T·贝茨，
申请(专利权)人：粒子监测系统有限公司，
类型：发明
国别省市：