【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术涉及用于测量厚度变化的设备、使用 该设备的系统、使用该设备的形貌显微镜、测量厚度变化的方法、以及使用该测量方法获取形貌图像(morphology image)的方法，并且更具体地，本专利技术涉及可以通过其准确且精确地测量微小的厚度变化或者使用低廉且简单的配置通过其获取形貌图像的用于测量厚度变化的设备、使用该设备的系统、使用该设备的形貌显微镜、测量厚度变化的方法、以及使用该测量方法获取形貌图像的方法。
技术介绍
通常，用于测量厚度变化的设备测量薄膜的厚度或厚度变化。传统地，通过使用下述两种代表性方法来测量薄膜的厚度。第一种是通过使用晶体振荡器传感器测量沉积量来实时地监测厚度变化的方法。然而，由于晶体振荡器传感器需要被频繁地更换，所以需要精确地校准，并且如果沉积超过特定量，则晶体振荡器传感器饱和并且表现出非线性结果，上述方法不能容易地实时监测厚度变化。第二种是在薄膜完全沉积后测量薄膜厚度的方法。为此，可以根据薄膜的材料使用各种方法，如椭圆光度法、白光干涉仪、表面轮廓仪(alpha-step)、以及激光三角测量系统。然而，如果薄膜具有大约IOnm的厚度，则该...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...
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