本发明提供一种厚度变化测量设备，其能够通过低廉且简单的配置以准确且精确的方式测量微小的厚度变化，本发明还涉及使用该设备的系统、使用该设备的表面显微镜、厚度变化测量方法、以及使用该测量方法的表面图像获取方法。为此，厚度变化测量设备包括：光...