【技术实现步骤摘要】
本专利技术总体涉及光学检测,特别涉及一种用于检测相关物件的缺陷或特征的装置。
技术介绍
例如液晶显示器(Liquid crystal display,「LCD」)装置的显示装置,是用于电子式显示包括文字、影像及动画的信息。IXD可以包括一些迭层,例如可判定上述IXD的质量的偏光滤光板、玻璃基板、彩色滤光板、液晶及反射表面。为了检查LCD是否合格,也就是说,上述LCD是否具有少于预定数量的缺陷,有时候采用肉眼来检测。但是,肉眼检测在LCD 的大量生产中代表耗时、耗工及不准确。再者,随着半导体制造的进步,由肉眼检测来检验具较小尺寸特征的LCD产品变得更为困难。因此,已经开发出用于自动检测LCD面板的检测系统或装置。然而,一些自动扫描系统可能无法辨识,除非在特定方向上观看才能看到或探测到的光学特性的缺陷。另外,在检测程序期间,外来物质(例如尘土或灰尘等)可能被错认为缺陷。再者,在检测之前可能需要手动开启面板,这使得这种扫描系统并非如此自动化。因此需要提供一种能够辨识光学特性的缺陷,且在检测期间能够移除面板表面上的外来物质的装置。另外,还需要提供一种能够供应电力给检测中 ...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
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