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检测系统技术方案

技术编号:6550753 阅读:174 留言:0更新日期:2012-04-11 18:40
本发明专利技术揭示一种用于检测产品的系统,该系统包括扫描仪,用以扫描该产品,并产生该产品的影像,该影像包括像素矩阵,其每一者具有灰阶值,及分析装置,其电性耦合于该扫描仪来接收与分析该产品的影像,该分析装置包括微处理器,用以计算关联于该影像中每一个像素的基准灰阶值,其中该基准灰阶值包括位在相邻于该每一个像素的像素的上述这些灰阶值的平均值,内存,用以储存关联于每一个像素的基准灰阶值,与该基准灰阶值关联的至少一个临界值,及比较模块,用以比较在该影像中每一个像素的灰阶值与关联于该每一个像素的至少一个临界值。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术总体上涉及光学检测,尤其涉及一种使用扫描仪检测有关的对象的缺陷或特征的系统。
技术介绍
显示装置,例如液晶显示器(Liquid crystal display, LCD)装置,是用于电子式显示包括文字、影像及动画的信息。LCD可包括数层,例如偏光滤光片,玻璃基板,彩色滤光片,液晶及反射表面,其可决定该LCD的质量。为了检查LCD是否为合格LCD,也就是说,该 LCD是否具有少于预定数量的缺陷,有时候可运用肉眼检测。但是,肉眼检测在LCD的大量生产当中代表耗时、耗工及不准确。再者,随着半导体制造的进步,由肉眼检测来检查具有缩小尺寸的特征的LCD产品可能变得更为困难。因此需要一种检测系统能够自动地检测对象(例如在IXD装置中有关的一层)的缺陷或特征。
技术实现思路
本专利技术的实施例可提供一种用于检测产品的系统。该系统可包括扫描仪,用以扫描该产品,并产生该产品的影像,该影像包括像素矩阵,其每一者具有灰阶值,及分析装置, 其电性耦合于该扫描仪以接收与分析该产品的影像,该分析装置包括微处理器,用以计算关联于该影像中每一个像素的基准灰阶值,其中该基准灰阶值包括位在相邻于该每一个像素的像素的上述这些灰阶值的平均值,内存,用以储存关联于每一个像素的基准灰阶值,与关联于该基准灰阶值的至少一个临界值,以及比较模块,用以比较该影像中每一个像素的灰阶值与关联于该每一个像素的至少一个临界值。本专利技术的一些实施例还可提供一种用于检测产品的系统。该系统可包括扫描仪, 其包括设置在第一方向上的多个扫描单元,且构形成在垂直于该第一方向的第二方向上扫描该产品,该扫描仪产生该产品的影像,该影像包括像素矩阵,其每一者具有灰阶值,微处理器,用以计算关联于该影像中每一个像素的基准灰阶值,其中该基准灰阶值包括位在相邻于该每一个像素的像素的灰阶值的平均值,以及比较模块,用以比较该影像中每一个像素的灰阶值与关联于该每一个像素的第一临界值与第二临界值,其中该第一临界值包括该基准灰阶值的上限,且该第二临界值包括该基准灰阶值的下限。本专利技术的实施例仍可提供一种用于检测产品的系统。该系统可包括第一扫描仪, 用以扫描该产品,并产生该产品的第一影像,该第一影像包括像素矩阵,其每一者具有灰阶值,第二扫描仪,用以扫描该产品,并产生该产品的第二影像,该第二影像包括像素矩阵,其每一者具有灰阶值,及分析装置,其电性耦合于该扫描仪,以接收及分析该产品的第一与第二影像,该分析装置包括微处理器,用以计算关联于在该第一与第二影像中每一个像素的基准灰阶值,其中该基准灰阶值包括位在相邻于该每一个像素的像素的灰阶值的平均值, 内存,用以储存关联于在该第一与第二影像中每一个像素的基准灰阶值,与关联于该基准4CN 102200519 A说明书2/8页灰阶值的至少一个临界值,以及比较模块,用以比较在该第一与第二影像中每一个像素的灰阶值与关联于每一个像素的至少一个临界值。在下文的说明中将部分提出本专利技术的其它特点与优点,而且从该说明中将了解本专利技术其中一部分,或者通过实施本专利技术亦可获知。通过权利要求中特别列出的元件与组合将可了解且达成本专利技术的特点与优点。应该了解的是,上文的概要说明以及下文的详细说明都仅供作示例与解释,其并未限制本文所主张的专利技术。附图说明当并同各附图而阅览时,即可更佳了解本专利技术之前披露的摘要以及上文详细说明。为达到本专利技术的说明目的,各附图里图绘有实施例。然应了解本专利技术并不限于各实施例中所绘的精确排置方式及设备装置。在各附图中图IA为根据本专利技术的一实施例,用于检测的系统的图;图IB为根据本专利技术的一实施例,在图IA中所示的分析装置的方框图;图2A为根据本专利技术的一实施例,在图IA中所示的系统内经调适来使用的扫描仪的示意图;图2B为根据本专利技术的另一实施例,在图IA中所示的系统内经调适来使用的扫描仪的示意图;图3A为根据本专利技术的另一实施例,用于检测的系统的图3B为根据本专利技术的又另一实施例,用于检测的系统的示意图图3C为根据本专利技术的再另一示例,用于检测的系统的示意图3D为根据本专利技术的又再另一实施例,用于检测的系统的示意I图4为说明根据本专利技术的一实施例的检测方法的流程图;以及图5为说明根据本专利技术的另一实施例的检测方法的流程图。附图元件标记说明10系统11面板12扫描仪12-1扫描仪12-2扫描仪13支撑框架14信号产生器15马达16分析装置21传感器胞22传感器胞25彩色滤光片30系统30-130-230-33132-132-237-137-238161162163164165250CHO-CHl 7CH18具体实施例方式现将详细参照于本专利技术实施例,其实施例图解于附图之中。尽其可能,所有附图中将依相同元件符号以代表相同或类似的部件。图IA所示为根据本专利技术一实例的检测系统10。请参照图1A,系统10可包括检测中的产品,例如面板11,扫描仪12,信号产生器14与分析装置16。要进行检测的面板11可放置在支撑框架13中。此外,面板11可包括但不限于显示面板,例如液晶显示器(LCD)面板,其可包括一或多层,例如偏光滤光片、玻璃基板、彩色滤光片与液晶层。由于制造因素,面板11可在该层中包括一或多种缺陷的至少一者,像是刮伤、裂痕、气泡、孔洞及灰尘。当由马达15驱动时,扫描仪12可以预定速率相对于面板11移动。具体而言,扫描仪12可包括设置在第一方向上的多个传感器胞,例如行方向,其可在当扫描仪12在第二方向上,例如箭头所示的列方向移动时扫描面板11。再者,扫描仪12与面板11之间的距离可由机械手臂(未示出)调整,以便在检测面板11中想要检测的层。扫描仪12在扫描面板11之后可提供数据给分析装置16。该数据可包括像素矩阵中的面板11的影像。因此,该影像可提供上述这些每一个像素的位置或坐标的信息。此外,该每一个像素承载对应于光线量的强度信息。具体而言,每一个像素具有灰阶值,其范围可由例如0到255,其中“0”代表黑色,而“255”代表白色。信号产生器14电性耦合于面板11,其可用在面板11上产生用于显示的的所需要的图案。基于该图案,面板11可产生用于检测的特定色彩的视讯框。在一实施例中该图案可包括但不限于红色、绿色、蓝色、灰色、白色与黑色中的一个。例如,黑色视讯框可便于检测面板11中的亮点。在一替代例中,白色视讯框可便于检测面板11中的暗点。再者,灰色系统系统系统女口广口口第一扫描仪第二扫描仪第一光源第二光源输送带微处理器内存比较模块排序模块映像模块次像素扫描单元或扫描频道单一扫描单元视讯框可便于检测面板11中的亮点与暗点。分析装置16可包括例如运算装置,像是个人计算机或工作站计算机。分析装置16 可电性耦合于扫描仪12,并构形成分析自扫描仪12传送的扫描数据。该检测结果的报告可由分析装置16提供。如果有的话,该报告可包括但不限于面板11中的缺陷的数目,缺限的种类可为刮伤、裂痕、孔洞或外来杂质,以及缺陷的位置或坐标。在操作上,在检测之前,可执行初始化程序,以校准系统参数,其可包括显示图案、 扫描仪的灵敏度、及该扫描仪与检测中的产品间的距离。在该初始化阶段中,可提供要进行检测的上述这些产品的样本。该样本产品可包括多层产品或单层产品。在一实施例中,该多层产品可包括显示面板,像是面板11、触控面板、晶圆、及本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种用于检测产品的系统,该系统包含:扫描仪,用以扫描该产品,并产生该产品的影像,该影像包括像素矩阵,其每一个像素矩阵具有灰阶值;以及分析装置,其电性耦合于该扫描仪,用以接收与分析该产品的影像,该分析装置包括:微处理器,用以计算关联于该影像中每一个像素的基准灰阶值,其中该基准灰阶值包括位在相邻于该每一个像素的像素灰阶值的平均值;内存,用以储存关联于上述这些每一个像素的基准灰阶值,与关联于该基准灰阶值的至少一个临界值;以及比较模块,用以比较该影像中每一个像素的灰阶值与关联于该每一个像素的该至少一个临界值。

【技术特征摘要】
2010.03.26 US 12/732,5861.一种用于检测产品的系统,该系统包含扫描仪,用以扫描该产品,并产生该产品的影像,该影像包括像素矩阵,其每一个像素矩阵具有灰阶值;以及分析装置,其电性耦合于该扫描仪,用以接收与分析该产品的影像,该分析装置包括微处理器,用以计算关联于该影像中每一个像素的基准灰阶值,其中该基准灰阶值包括位在相邻于该每一个像素的像素灰阶值的平均值;内存,用以储存关联于上述这些每一个像素的基准灰阶值,与关联于该基准灰阶值的至少一个临界值;以及比较模块,用以比较该影像中每一个像素的灰阶值与关联于该每一个像素的该至少一个临界值。2.根据权利要求1所述的系统,其特征在于,该扫描仪包括设置在第一方向上的多个扫描单元,且其中该扫描仪构形成在垂直于该第一方向的第二方向上相对于该产品移动。3.根据权利要求2所述的系统,其特征在于,该扫描仪包括第一行的扫描单元与第二行的扫描单元,该第一行与第二行的扫描单元相对于彼此而交错。4.根据权利要求3所述的系统,其特征在于,上述这些每一个扫描单元包括多个传感器胞,且在该第一行中的扫描单元与在该第二行中紧邻的扫描单元重迭有预定数目的传感器胞。5.根据权利要求3所述的系统,其特征在于,上述这些每一个扫描单元包括多个传感器胞,且其中在该每一个扫描单元中扫描单元的密度等于或大于该产品中次像素的密度的两倍。6.根据权利要求1所述的系统,其特征在于,还包含排序模块,用以按缺陷的数目来排序一些产品。7.根据权利要求1所述的系统,其特征在于,该至少一个临界值包括作为该基准灰阶值的上限的第一临界值,及作为该基准灰阶值的下限的第二临界值。8.根据权利要求1所述的系统,其特征在于,该扫描仪为第一扫描仪,用以扫描该产品的第一层并产生第一影像,还包含第二扫描仪,用以扫描该产品的第二层并产生第二影像。9.根据权利要求8所述的系统,其特征在于,该比较模块构形成比较来自关联于该第一影像中像素的至少一个临界值的第一偏移量与来自关联于该第二影像中该像素的至少一个临界值的第二偏移量。10.一种用于检测产品的系统,该系统包含扫描仪,其包括设置在第一方向上的多个扫描单元,且构形成在垂直于该第一方向的第二方向上扫描该产品,该扫描仪产生该产品的影像,该影像包括像素矩阵,其每一个像素矩阵具有灰阶值;微处理器,用以计算关联于该影像中上述这些每一个像素的基准灰阶值,其中该基准灰阶值包括位在相邻于该每一个像素的像素的灰阶值的平均值;以及比较模块,用以比较在该影像中上述这些每...

【专利技术属性】
技术研发人员:郭上鲲蔡荣华
申请(专利权)人:郭上鲲
类型:发明
国别省市:71

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