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光学检测装置制造方法及图纸
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文档序号:7673198
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本发明提供一种光学检测装置,上述装置包含平台,其在第一方向上延伸的;传送单元,用于在上述第一方向上由其输入埠输送至少一载板至输出埠,上述至少一载板的每一个用于支撑要被检测的至少一物件其中之一;第一探测器,其设置在上述平台之上,并在与上述第一...
该专利属于郭上鲲所有,仅供学习研究参考,未经过郭上鲲授权不得商用。
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