在透明材料中制备三维流体通道的方法技术

技术编号:7660604 阅读:211 留言:0更新日期:2012-08-09 04:26
一种在透明材料中制备三维流体通道的方法,利用圆偏振的飞秒激光在透明材料内部制备复杂三维流体通道。本发明专利技术制备的三维流体通道,具有各向腐蚀速率相同、对复杂结构腐蚀速率较快的特点。

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员:于晓明何飞程亚
申请(专利权)人:中国科学院上海光学精密机械研究所
类型:发明
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