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中国科学院上海光学精密机械研究所
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在透明材料中制备三维流体通道的方法技术
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文档序号:7660604
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一种在透明材料中制备三维流体通道的方法,利用圆偏振的飞秒激光在透明材料内部制备复杂三维流体通道。本发明制备的三维流体通道,具有各向腐蚀速率相同、对复杂结构腐蚀速率较快的特点。...
该专利属于中国科学院上海光学精密机械研究所所有,仅供学习研究参考,未经过中国科学院上海光学精密机械研究所授权不得商用。
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