复杂的带穿孔的微机械部件制造技术

技术编号：7660601 阅读：199 留言：0更新日期：2012-08-09 04:26

本发明专利技术涉及一种在单块材料上制造微机械部件(11，31，41)的方法。根据本发明专利技术，所述方法包括以下步骤：a)形成衬底(1，21)，该衬底包括用于待制造的所述微机械部件的凹腔(3，23)；b)在所述衬底(1，21)的一部分上形成牺牲层(5，25)；c)在所述衬底(1，21)上沉积用于形成萌发点的颗粒(6，26)；d)移走所述牺牲层(5，25)，以选择性地使所述衬底(1，21)的一部分没有任何颗粒(6，26)；e)通过化学气相沉积沉积第一材料(7，27)层，使得所述第一材料只在所述颗粒(6，26)保留的地方沉积；f)移走衬底(1，21)，以释放在所述凹腔中形成的微机械部件(11，31，41)。