【技术实现步骤摘要】
本技术涉及一种监控系统，且特别是涉及一种管路漏液监控装置。
技术介绍
目前半导体厂为了产量效能的提升，其设备安置的设计多采高密度的安排。因此，输送各式各样化学液体的管路及各种设备交错设置，若输送液体的管路不慎泄漏液体至半导体机台中，对半导体的生产会造成相当严重的影响。 举例来说，光致抗蚀剂涂布机的光致抗蚀剂输送管需包覆用以控温的循环水管，当管路老化耗损后发生破裂、渗漏，常造成芯片缺陷及良率损失。然而，由于光致抗蚀剂涂布机的内部环境必须避免电气接触易燃液体(如光致抗蚀剂)，故对管路漏液的检测形成限制。
技术实现思路
本技术的目的在于提供一种管路漏液监控装置，其可即时进行管路的漏液检测及监控。本技术的另一目的在于提供一种管路漏液监控装置，其可有效地防止工安问题的产生。为达到上述目的，本技术提出一种管路漏液监控装置，其用以监控管路的漏液，且包括承接容器、监控容器、干射薄膜、光源、反射镜、光检测器及警报器。承接容器环绕管路，承接容器的下部与管路密合，且位于下部上方的承接容器与管路之间形成盛液空间。监控容器与承接容器连通。干射薄膜设置于监控容器内，且干射薄膜于干燥时具有第一光穿透...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：谢寿镛，张盛淇，
申请(专利权)人：力晶科技股份有限公司，
类型：实用新型
国别省市：
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