管路漏液监控装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开一种管路漏液监控装置，其包括下列构件：承接容器环绕管路，承接容器的下部与管路密合，且位于下部上方的承接容器与管路之间形成盛液空间。监控容器与承接容器连通。干射薄膜设置于监控容器内，且干射薄膜于干燥时具有第一光穿透率，且与漏液接触后具有第二光穿透率，且第二光穿透率不同于第一光穿透率。光源发射照射到干射薄膜的光线。反射镜设置于监控容器内，且在光线的光行进路线上干射薄膜设置于反射镜与光源之间。光检测器接收来自反射镜的反射光。警报器接收来自光检测器的信号，信号强度符合设定条件时，警报器发报信息。（*该技术在2021年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及一种监控系统，且特别是涉及一种管路漏液监控装置。
技术介绍
目前半导体厂为了产量效能的提升，其设备安置的设计多采高密度的安排。因此，输送各式各样化学液体的管路及各种设备交错设置，若输送液体的管路不慎泄漏液体至半导体机台中，对半导体的生产会造成相当严重的影响。 举例来说，光致抗蚀剂涂布机的光致抗蚀剂输送管需包覆用以控温的循环水管，当管路老化耗损后发生破裂、渗漏，常造成芯片缺陷及良率损失。然而，由于光致抗蚀剂涂布机的内部环境必须避免电气接触易燃液体(如光致抗蚀剂)，故对管路漏液的检测形成限制。
技术实现思路
本技术的目的在于提供一种管路漏液监控装置，其可即时进行管路的漏液检测及监控。本技术的另一目的在于提供一种管路漏液监控装置，其可有效地防止工安问题的产生。为达到上述目的，本技术提出一种管路漏液监控装置，其用以监控管路的漏液，且包括承接容器、监控容器、干射薄膜、光源、反射镜、光检测器及警报器。承接容器环绕管路，承接容器的下部与管路密合，且位于下部上方的承接容器与管路之间形成盛液空间。监控容器与承接容器连通。干射薄膜设置于监控容器内，且干射薄膜于干燥时具有第一光穿透率，且与漏液接触后具有第二光穿透率，且第二光穿透率不同于第一光穿透率。光源发射照射到干射薄膜的光线。反射镜设置于监控容器内，且在光线的光行进路线上干射薄膜设置于反射镜与光源之间。光检测器接收来自反射镜的反射光。依照本技术的一实施例所述，在上述的管路漏液监控装置中，当光源位于监控容器外部时，监控容器例如是具有透光壁，以使光线穿透透光壁而照射到干射薄膜。依照本技术的一实施例所述，在上述的管路漏液监控装置中，警报器耦接于光检测器，且接收来自光检测器的触发信号，当反射光的强度改变时，警报器发出警报信号。依照本技术的一实施例所述，在上述的管路漏液监控装置中，警报器例如是光警报器、声音警报器或上述警报器的组合。依照本技术的一实施例所述，在上述的管路漏液监控装置中，警报器还包括将反馈信号发送至监控主机。依照本技术的一实施例所述，在上述的管路漏液监控装置中，反馈信号例如是正向反馈信号或反向反馈信号。依照本技术的一实施例所述，在上述的管路漏液监控装置中，监测容器例如是设置于承接容器上或与承接容器分离。依照本技术的一实施例所述，在上述的管路漏液监控装置中，当监测容器设置于承接容器上时，承接容器上例如是具有通道，通道导引漏液进入监测容器。依照本技术的一实施例所述，在上述的管路漏液监控装置中，当监测容器与承接容器分离时，更包括导管，导管导引漏液进入监测容器。依照本技术的一实施例所述，在上述的管路漏液监控装置中，承接容器例如是一体成型或由多个部件组成。依照本技术的一实施例所述，在上述的管路漏液监控装置中，当承接容器由多个部件组成时，承接容器更包括结合装置，用以组合部件。依照本技术的一实施例所述，在上述的管路漏液监控装置中，承接容器例如是设置于管路的末端，末端例如是位于管路的低位处。依照本技术的一实施例所述，在上述的管路漏液监控装置中，光源与光检测器例如是一体成型或为互相分离的装置。依照本技术的一实施例所述，在上述的管路漏液监控装置中，管路例如是用以包覆液体输送管的控温管。依照本技术的一实施例所述，在上述的管路漏液监控装置中，干射薄膜的材料例如是与该漏液接触后会改变光穿透率的材料或与该漏液接触后会溶解的材料。本技术另提出一种管路漏液监控装置，其用以监控管路的漏液，且包括承接容器、监控容器、干射薄膜、光源及光检测器。承接容器环绕管路，承接容器的下部与管路密合，且位于下部上方的承接容器与管路之间形成盛液空间。监控容器与承接容器连通。干射薄膜设置于监控容器内，且干射薄膜于干燥时具有第一光穿透率，且与漏液接触后具有第二光穿透率，且第二光穿透率不同于第一光穿透率。光源发射照射到干射薄膜的光线。光检测器接收穿透干射薄膜的穿透光。依照本技术的另一实施例所述，在上述的管路漏液监控装置中，当光源位于监控容器外部时，监控容器例如是具有透光壁，以使光线穿透透光壁而照射到干射薄膜。依照本技术的另一实施例所述，在上述的管路漏液监控装置中，更包括警报器，耦接于光检测器，且接收来自光检测器的触发信号，当反射光的强度改变时，警报器发出警报信号。依照本技术的另一实施例所述，在上述的管路漏液监控装置中，警报器例如是光警报器、声音警报器或上述警报器的组合。依照本技术的另一实施例所述，在上述的管路漏液监控装置中，警报器更包括将反馈信号发送至监控主机。依照本技术的另一实施例所述，在上述的管路漏液监控装置中，反馈信号例如是正向反馈信号或反向反馈信号。依照本技术的另一实施例所述，在上述的管路漏液监控装置中，监测容器例如是设置于承接容器上或与承接容器分离。依照本技术的另一实施例所述，在上述的管路漏液监控装置中，当监测容器设置于承接容器上时，承接容器上例如是具有通道，通道导引漏液进入监测容器。依照本技术的另一实施例所述，在上述的管路漏液监控装置中，当监测容器与承接容器分离时，更包括导管，导管导引漏液进入监测容器。 依照本技术的另一实施例所述，在上述的管路漏液监控装置中，承接容器例如是一体成型或由多个部件组成。依照本技术的另一实施例所述，在上述的管路漏液监控装置中，当承接容器由多个部件组成时，承接容器更包括结合装置，用以组合部件。依照本技术的另一实施例所述，在上述的管路漏液监控装置中，承接容器例如是设置于管路的末端，末端例如是位于管路的低位处。依照本技术的另一实施例所述，在上述的管路漏液监控装置中，光源与光检测器例如是一体成型或为互相分离的装置。依照本技术的另一实施例所述，在上述的管路漏液监控装置中，管路例如是用以包覆液体输送管的控温管。依照本技术的另一实施例所述，在上述的管路漏液监控装置中，干射薄膜的材料例如是与该漏液接触后会改变光穿透率的材料或与该漏液接触后会溶解的材料。本技术的优点在于，基于上述，在使用本技术所提出的管路漏液监控装置时，当管路产生漏液时，流入盛液空间中的漏液会流入监测容器中，因此可防止漏液自承接容器中溢出。此外，流入监测容器的漏液会润湿干射薄膜，而改变干射薄膜的光穿透率，所以光检测器会检测到反射光或穿透光的强度改变，由此可得知管路发生漏液的情况，因此可即时进行管路的漏液检测及监控。为让本技术的上述特征和优点能更明显易懂，下文特举实施例，并配合所附附图作详细说明如下。附图说明图I为本技术的第一实施例的管路漏液监控装置于未产生漏液时的示意图；图2为本技术的第一实施例的管路漏液监控装置于产生漏液时的示意图；图3为本技术的另一实施例的套管的示意图；图4为本技术的一实施例的管路漏液监控装置应用于光致抗蚀剂涂布机的示意图；图5为本技术的第二实施例的管路漏液监控装置的示意图；图6为本技术的第三实施例的管路漏液监控装置于未产生漏液时的示意图；图7为图6中的干射薄膜与光检测器的放大示意图；图8为本技术的第三实施例的管路漏液监控装置于产生漏液时的示意图；图9为图8中的干射薄膜与光检测器的放大示意图；图10为本技术的第四实施例本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
...

【专利技术属性】
技术研发人员：谢寿镛，张盛淇，
申请(专利权)人：力晶科技股份有限公司，
类型：实用新型
国别省市：