运动部件二维位置共面检测装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了运动部件二维位置共面检测装置，包括基座和工作台，在基座和工作台之间设有悬浮驱动机构和共面检测机构，另有控制器分别与上述两机构相接。其中，共面检测机构采用导波杆和位置磁条副构成两个方向的测量单元，导波杆与磁条副之间有二维平面内的两个自由度，这不同于传统的位置传感器那样动静元件间只有一个自由度。采用本实用新型专利技术可实现二维平面内任意点位置检测，装置结构简单，相比于同等性能的检测装置，体积小，重量轻，由于不存在叠加机构的间隙影响，所以精度高，系统可靠性高，操作方便。（*该技术在2021年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及位置检测领域，具体涉及一种运动部件二维位置共面检测装置， 可应用于数控机床及光刻机等先进制造装备的运动部件位置检测。
技术介绍
位置检测装置是金属切削机床、光刻机等设备的重要组成部分，主要作用是检测工作台相对于基座的实时位置，并发出反馈信号至控制系统，构成闭环或半闭环控制系统。(见汪琢琢，基于扫频激光干涉的数控机床几何误差测量系统，浙江大学，2011(1) 14)。现在可用于机床工作台位置检测的传感器很多，如光栅尺、磁尺、电位式位移传感器、电感式位移传感器、激光距离检测装置等。(见杨晓红，纳米级位移测量技术综述， 盐城工学院学报，2000年9月，13 :3)。其工作方式有一个共同点将位置检测装置的一部分(如标尺光栅)安装在移动工作台上，另一部分(如指示光栅)安装在静止的基座上。这样就使得工作台与基座位置的相对位移转换到检测装置上。再通过检测装置里的转换部件将位置信息转换成光、磁、电等信号，处理后在显示器件上给出位置值。这一共同点导致任何一维线性移动副需单独对应一套位置检测单元，或者说一套位置检测单元不可能同时测量多维位置信息。若想测得两维线性移动副的相对位置，则需要两套检本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：康宜华，
申请(专利权)人：华中科技大学，
类型：实用新型
国别省市：