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本实用新型公开了运动部件二维位置共面检测装置，包括基座和工作台，在基座和工作台之间设有悬浮驱动机构和共面检测机构，另有控制器分别与上述两机构相接。其中，共面检测机构采用导波杆和位置磁条副构成两个方向的测量单元，导波杆与磁条副之间有二维平面内...
该专利属于华中科技大学所有，仅供学习研究参考，未经过华中科技大学授权不得商用。

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