电铸多层流动调节器制造技术

一种零袋状容积流体流动调节器，它可产生上游紊流，用于控制流体流动、流体喷雾分配和流体小滴尺寸。该流体流动调节器具有一密封层（５），用于选择性地控制流体流动。该密封层（５）可相对于一底层（３）弹性移动，以选择性地收缩一在调节器内的紊流引发中间通道（１０）和选择性地控制流体流动。一种制造该流体流动调节器的方法，它采用一多层抗蚀剂工艺结合一多层电铸工艺。（*该技术在2017年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种用于控制流体流动的具有上游紊流和力发生装置的流动调节器。本专利技术的流体流动调节器包括喷雾导向器(例如喷嘴和燃料喷射器)、单向阀、流动控制调节器等等，但并不局限于这些。本专利技术还涉及一种采用多层抗蚀剂工艺结合多层电铸工艺制造流动调节器的方法。背景具有小而精确的孔的流动调节器用于许多工业场合，例如包括内燃汽车发动机和火箭发动机中的燃料喷射器、热喷墨打印头、以及需要对流体进行精确计量的类似设备。流动调节器的传统制造方法包括模铸、机加工和电镀。而且，这些方法还需要精加工工序，以生产出最终的成品。制造流动调节器的电镀方法采用干、湿抗蚀层和蚀刻的各种组合。然而，这种方法局限于电铸层可以达到的最大厚度约为200微米。现有技术的流动调节器制造方法通常存在所形成的孔精度较低的缺点。至今为止，这种方法还是采用连接分离的构件而形成流动调节器。例如，密执安科技大学的William P.Richardson的硕士论文“上游流动状况对低压燃料喷射器的喷雾性能的影响”(1991)揭示了由硅微加工(SMM)工艺生产的喷嘴。在这种工艺中，孔构造通过对硅的蚀刻而形成。授予Fakler等人的美本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种流体流动调节器，包括：至少一个接纳流体的进入孔；至少一个排出所述流体的排出孔；以及在所述至少一个进入孔和所述至少一个流体排出孔之间的、在从所述至少一个进入孔到所述至少一个流体排出孔的流体流动方向上非直线地输送流体的一紊流引发 中间通道，该紊流引发中间通道由第一和第二电铸层之间的一空间所限定，其中，第二层电铸于第一层上，或者第一层电铸于第二层上，并且第二层相对于第一层可选择性地在至少两个位置间弹性移动：一打开位置，在该位置第二层与第一层隔开，从而限定出一紊流引 发中间通道，并使流体流过该通道，以及一关闭位置，在该位置第二层接触第一层的至少一部分，从而占据该空间，并...

【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：GT马克斯，JH麦克维，JA斯莱恩，KE伍德，LW埃弗斯，
申请(专利权)人：施乐有限公司，
类型：发明
国别省市：US[美国]