微机电系统元件及用于其中的防止变形结构及其制作方法技术方案

技术编号：7584769 阅读：175 留言：0更新日期：2012-07-20 04:55

本发明专利技术提出一种具有防止变形结构的微机电系统(MEMS)元件，设置于基板上，包含：一动件；以及一防止变形结构，其具有：附着于该基板的一固定栓；多个金属层，其包含一最上层金属层；以及连接该多个金属层的多个金属栓；其中，该最上层金属层由俯视图视之，与该动件具有一部分重叠，且由剖面图视之，该最上层金属层的底表面高于该动件顶表面一限制高度。同时，本发明专利技术还提出一种用于微机电系统元件中的防止变形结构，以及一种微机电系统元件的制作方法。