放射线敏感性树脂组合物以及层间绝缘膜的形成方法技术

本发明专利技术涉及含有[A]碱可溶性树脂、[B]1,2-醌二叠氮化合物以及[C]自由基捕获剂的放射线敏感性树脂组合物。上述放射线敏感性树脂组合物可充分满足透光率高等的作为层间绝缘膜通常所要求的各性能，且可以以高分辨率提供层间绝缘膜，同时保存稳定性也优异，其中随着为提高制品的成品率而采取的工艺的效率化，该层间绝缘膜的耐热尺寸稳定性、耐热变色性、与基板的密合性等优异。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术涉及放射线敏感性树脂组合物和层间绝缘膜的形成方法。
技术介绍
薄膜晶体管(以下称为“TFT”)型液晶显示元件、磁头元件、集成电路元件、固体摄像元件之类的电子部件中，通常为了使层状配置的布线之间绝缘而设置层间绝缘膜。在 TFT型液晶显示元件中，是经由在上述层间绝缘膜上形成透明电极膜、进一步在该透明电极膜上形成液晶取向膜的工序来制造的。因此，层间绝缘膜在透明电极膜的形成工序中暴露于高温条件中，并且暴露于在电极图案形成中使用的抗蚀剂的剥离液，因此必须对它们有足够的耐性。形成所述层间绝缘膜的材料优选为获得所需图案形状而进行的工序数少、并且具有充分的平坦性的材料。从上述观点考虑，放射线敏感性树脂组合物作为层间绝缘膜形成用的材料得到广泛使用(参照日本特开2001-343743号公报)。近年来，在TFT型液晶显示元件中，有要求大画面化、高亮度化、高精细化、高速响应化、薄型化等的动向，对于其中所使用的层间绝缘膜也要求高分辨率和高透射率之类的高性能。并且，随着为提高制品的成品率而采取的工艺的效率化，对层间绝缘膜要求耐热尺寸稳定性、耐热变色性、与基板的密合性提高，并且随着生产成本的削减，要本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...

【专利技术属性】
技术研发人员：菊池克浩，臼井健太朗，柴崎正和，越智贵志，加藤龙郎，滨田谦一，荒井雅史，M村田，高濑英明，
申请(专利权)人：夏普株式会社，JSR株式会社，
类型：发明
国别省市：