【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及三氯氢硅生产领域,尤其涉及一种氯化氢脱水设备及工艺。
技术介绍
三氯氢硅生产所用原料氯化氢气体,参加反应前需要脱水处理,氯化氢气体中水份含量的高低直接关系到三氯氢硅合成反应时转化率的高低和反应情况的好坏。目前,国内三氯氢硅生产中对氯化氢气体的干燥通常采用冷冻脱水法,冷冻脱水的原理是根据水蒸汽的分压随着温度的降低而降低,而氯化氢的冰点为-15°C,因此,冷冻脱水时氯化氢的温度不能无限制的降低,一般控制在-14士2°C范围内,若低于此温度,会导致氯化氢输送管线冻结,造成系统阻力上升,不利于生产。受冷冻温度限制,采用冷冻脱水法时,氯化氢的水份含量只能控制在50(Tl000ppm之间,对后续三氯氢硅的生产会造成极大影响。氯化氢气体中水分的存在,还会在合成反应中使反应产物发生水解,造成三氯氢硅产率降低,水解生成的硅胶还会堵塞管道,使生产运行发生困难,水解产生的盐酸对设备有强烈的腐蚀作用。氯化氢中含水量越大,合成料中三氯氢硅的含量越低。氯化氢中水含量与三氯氢硅含量的关系见图2。当氯化氢中水含量在0. 1%时,三氯氢硅含量小于80%,氯化氢中水含量为0. 05 ...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员:秦永红,韩江涛,赵建桥,王良珣,王国正,张世斌,陈建祥,石如彦,马盈利,
申请(专利权)人:河南尚宇新能源股份有限公司,
类型:发明
国别省市:
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