本实用新型专利技术涉及一种用于药液浸泡槽的制冷装置，包括制冷盘管和具有出水口、进水口的冷冻机，所述制冷盘管置于所述药液浸泡槽的底部，所述制冷盘管的最上端设有出水管道，且其最下端设有进水管道，所述冷冻机的出水口与所述制冷盘管的进水管道相连，所述冷冻机的进水口与所述制冷盘管的出水管道相连。本实用新型专利技术利用冷冻机制造冰水进入药液浸泡槽中与药液进行热交换，抑制了药液反应温度，控制药液反应温度处于低温状态，可有效延长药液反应的时间，降低重新调配药液次数，对于原料的使用量有显着的降低。（*该技术在2021年保护过期，可自由使用*）
【技术实现步骤摘要】
本技术涉及一种用于药液浸泡槽的制冷装置。
技术介绍
对于半导体薄膜制程中属于TiN(氮化钛)制程的工件，再次使用前，需要去除TiN 附着物，主要采用化学药液浸泡的方式来去除。采用H2A (双氧水)与NH4OH (氨水)两种药液的混合，将工件放入药液中，利用两种药液混合过程中所产生的反应现象，达成去除TiN附着物的目的。H2O2与NH4OH两种药液混合过程中，会产生吸热现象，药液温度的变化会与反应时间的长短成正比，时间越长温度越高；同样的H2A与NH4OH两种药液混合过程中，两种药液的混合反应效率也与温度的高低成正比，温度越高反应的越快；当反应达到沸腾时，为药液反应最剧烈的时候，当H2A与NH4OH反应完成后，药液温度降低回归常温，混合药液也失去去除TiN附着物的能力，必须再重新调配新药液进行浸泡。去除TiN附着物所需要的浸泡时间，随着附着物的厚度不同，而有所增减。附着物越厚所需要浸泡的时间越长，相对的调配新药液浸泡的次数也会增加，H2O2与NH4OH使用量相对增加。工件经由多次的药液净浸泡，对工件材质亦会有所损伤，其母材由于药液浸泡之关系会发生变薄，久而久之亦会加速工件的损耗，可能会使晶圆在制造过程中造成不良，影响生产产品的质量，所以当工件损耗到一定程度时，就必须进行报废与新品采购。
技术实现思路
本技术的目的在于克服现有技术的缺陷而提供一种用于药液浸泡槽的制冷装置，该制冷装置可使得药液浸泡过程中保持恒温，延长了药液的反应时间，降低新药液的使用量，降低药液对工件的损伤、增加工件的寿命。本技术的目的是这样实现的本技术的一种用于药液浸泡槽的制冷装置，包括制冷盘管和具有出水口、进水口的冷冻机，所述制冷盘管置于所述药液浸泡槽的底部，所述制冷盘管的最上端设有出水管道，且其最下端设有进水管道，所述冷冻机的出水口与所述制冷盘管的进水管道相连， 所述冷冻机的进水口与所述制冷盘管的出水管道相连。上述的一种用于药液浸泡槽的制冷装置，其中，所述制冷盘管设置为矩形、或圆形、或椭圆形。本技术与现有技术相比，具有以下优点1.利用冷冻机制造冰水进入槽体中与药液进行热交换，目的为抑制药液反应温度，控制药液反应温度处于低温状态，可有效延长药液反应的时间，降低重新调配药液次数，对于原料的使用量有显着的降低；2.药液反应温度被控制，可抑制药液反应效率，避免剧烈的药液反应对工件产生消耗性的损伤；3.盘管冰水进入方式为由下至上，最冰的水会先经过反应最剧烈的药液底层，可直接有效控制药液反应；4.工件损耗率降低，相对可有效延长工件使用寿命，降低工件汰换周期，可有效的降低客户端在工件的报废与采购上的成本；5.药液反应效率降低，沸腾现象可有效控制，增加操作人员作业上安全。附图说明图1是本技术的结构示意图。具体实施方式下面将结合附图对本技术作进一步说明。请参阅图1，图中示出了本技术用于药液浸泡槽的制冷装置，该制冷装置包括制冷盘管1和具有出水口 22、进水口 21的冷冻机2，制冷盘管1置于药液浸泡槽的底部，制冷盘管1的最上端设有出水管道11，且其最下端设有进水管道12，冷冻机2的出水口 22与制冷盘管1的进水管道12相连，冷冻机2的进水口 21与制冷盘管1的出水管道11相连。制冷盘管1设置为矩形、或圆形、或椭圆形。 将工件依序整齐放入药液浸泡槽中，将H2A与NH4OH两种药液放入槽体中混合，让工件开始进行浸泡；开启冷冻机2开始制造冰水，让冰水经由制冷盘管1进入药液浸泡槽进行热交换，达到控制混合药液反应温度的目的，制冷盘管1冰水进入方式为由下至上，最冰的水会先经过反应最剧烈的药液底层，可直接有效控制药液反应；当药液完成反应后，观察工件附着物掉落状况，视掉落程度重新调配药液进行浸泡，直到附着物完全去除为止 以上实施例仅供说明本技术之用，而非对本技术的限制，有关
的技术人员，在不脱离本技术的精神和范围的情况下，还可以作出各种变换或变型，因此所有等同的技术方案也应该属于本技术的范畴，应由各权利要求所限定。权利要求1.一种用于药液浸泡槽的制冷装置，其特征在于，所述制冷装置包括制冷盘管和具有出水口、进水口的冷冻机，所述制冷盘管置于所述药液浸泡槽的底部，所述制冷盘管的最上端设有出水管道，且其最下端设有进水管道，所述冷冻机的出水口与所述制冷盘管的进水管道相连，所述冷冻机的进水口与所述制冷盘管的出水管道相连。2.如权利要求1所述的一种用于药液浸泡槽的制冷装置，其特征在于，所述制冷盘管设置为矩形、或圆形、或椭圆形。专利摘要本技术涉及一种用于药液浸泡槽的制冷装置，包括制冷盘管和具有出水口、进水口的冷冻机，所述制冷盘管置于所述药液浸泡槽的底部，所述制冷盘管的最上端设有出水管道，且其最下端设有进水管道，所述冷冻机的出水口与所述制冷盘管的进水管道相连，所述冷冻机的进水口与所述制冷盘管的出水管道相连。本技术利用冷冻机制造冰水进入药液浸泡槽中与药液进行热交换，抑制了药液反应温度，控制药液反应温度处于低温状态，可有效延长药液反应的时间，降低重新调配药液次数，对于原料的使用量有显着的降低。文档编号H01L21/67GK202304202SQ20112042590公开日2012年7月4日 申请日期2011年11月1日 优先权日2011年11月1日专利技术者陈博刚 申请人:上海科秉电子科技有限公司, 科治新技股份有限公司本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：陈博刚，
申请(专利权)人：上海科秉电子科技有限公司，科治新技股份有限公司，
类型：实用新型
国别省市：
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