晶片透镜的制造方法技术

本发明专利技术的课题是在晶片透镜的制造中使光轴上的厚度为一定。该课题的晶片透镜的制造方法，备有：在模具(64)上滴下树脂的分配工序；将模具(64)和玻璃基板(2)的一方压到另一方的转印工序；从模具(64)脱模玻璃基板(2)的脱模工序；作为1循环反复从分配工序到脱模工序的处理，在玻璃基板(2)上依次形成树脂制透镜部(4)，其中，在第1循环的脱模工序和第2循环的分配工序之间，测定透镜部(4)周边非透镜部(6)的高度位置(A)和玻璃基板(2)的高度位置(B、C)，在第2循环和该第2循环以后的转印工序中，根据高度位置(A～C)，修正模具(64)的配置。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术涉及，尤其涉及使晶片透镜的光轴上厚度保持一定的技术。
技术介绍
以往，在光学透镜制造领域中，有探讨对玻璃基板设由固化性树脂构成的透镜部从而得到耐热性高的光学透镜之技术(参照例如专利文献1)。作为应用了该技术的光学透镜的制造方法一例，有一种方法被提案，其中是形成对晶片状的玻璃基板表面作为透镜部形成多个固化性树脂成型品的所谓“晶片透镜”，然后按透镜部切开玻璃基板。作为晶片透镜制造装置的一个例子，有下述制造装置被提案设配置位置一定的模具和能够支承玻璃基板的台，使台能够相对模具在XY平面上移动，在玻璃基板上形成树脂透镜部。该制造装置中，是使台移动到所定位置上，使玻璃基板对着模具配置，在此位置上将模具压到玻璃基板上并使树脂固化，对玻璃基板形成树脂透镜部。这种晶片透镜制造装置中，可以考虑用反复进行将模具压到玻璃基板上、脱模后移动玻璃基板之一连串动作、依次形成多个树脂透镜部的所谓“步骤&反复方式”，还有在一张玻璃基板上模压一个模具、脱模、依次形成多个树脂透镜部的所谓“一次性方式”(参照例如专利文献2)。先行技术文献专利文献专利文献1 特许第3拟6380号公报专利文献2 美国专利申请公开2006/0259546号公报
技术实现思路
专利技术欲解决的课题但是，采用“步骤&反复方式”时也好，采用“一次性方式”时也好，每次进行树脂成型时晶片透镜的光轴上的厚度(树脂透镜部的厚度、树脂透镜部和玻璃基板的合计厚度等)有参差，作为共通的课题，“步骤&反复方式”和“一次性方式”都难以使晶片透镜的光轴上厚度均一。对此，本专利技术的主要目的在于，提供一种能够使光轴上的厚度为一定的。用来解决课题的手段为了解决上述课题，根据本专利技术的第1形态，提供一种，备有分配工序，在平坦面和在该平坦面具有成型面的模具中滴下光固化性树脂；转印工序， 将所述模具和玻璃基板的一方压到另一方；曝光工序，在所述转印工序之后对所述光固化性树脂照射光；脱模工序，从所述模具脱模所述玻璃基板；作为1循环，在所述玻璃基板的第1位置上进行从分配工序到脱模工序的处理，然后，使所述模具相对所述玻璃基板移动，在所述玻璃基板的第2位置上再进行上述1循环，多次反复上述，在所述玻璃基板上依次形成树脂透镜部，晶片透镜制造方法的特征在于，在第1循环的脱模工序和第2循环的分配工序之间，具有测定所述透镜部周边非透镜部的非透镜部位置与所述玻璃基板上模具模压树脂一面之第1玻璃位置之间的距离之工序，在第2循环和该第2循环以后的转印工序中，根据在所述测定工序测定到的距离， 修正转印工序中模具对玻璃基板的模压位置。根据本专利技术的第2形态，提供一种，备有分配工序，在平坦面和在该平坦面具有成型面的模具中滴下光固化性树脂；转印工序，将所述模具和玻璃基板的一方压到另一方；曝光工序，在所述转印工序之后对所述光固化性树脂照射光；脱模工序，从所述模具脱模所述玻璃基板；作为1循环，在所述玻璃基板的第1位置上进行从分配工序到脱模工序的处理，然后，使所述模具相对所述玻璃基板移动，在所述玻璃基板的第 2位置上再进行上述1循环，多次反复上述，在所述玻璃基板上依次形成树脂透镜部，晶片透镜制造方法的特征在于，在第1循环的脱模工序和第2循环的分配工序之间，具有检测所述透镜部周边非透镜部的非透镜部位置与所述玻璃基板上模具模压树脂一面之反面的第2玻璃位置、算出该非透镜部位置及第2玻璃位置间的距离之工序，在第2循环和该第2循环以后的分配工序中，根据在所述算出工序算出的距离，修正所述树脂向所述模具的滴下量。根据本专利技术的第3形态，提供一种，备有分配工序，在平坦面和在该平坦面具有成型面的模具中滴下光固化性树脂；转印工序，将所述模具和玻璃基板的一方压到另一方；曝光工序，在所述转印工序之后对所述光固化性树脂照射光；脱模工序，从所述模具脱模所述玻璃基板；作为1循环，在所述玻璃基板的第1位置上进行从分配工序到脱模工序的处理，然后，使所述模具相对所述玻璃基板移动，在所述玻璃基板的第 2位置上再进行上述1循环，多次反复上述，在所述玻璃基板上依次形成树脂透镜部，晶片透镜制造方法的特征在于，在各循环的前一循环的脱模工序之后，具有测定所述透镜部周边非透镜部的非透镜部位置与所述玻璃基板上模具模压树脂一面之第1玻璃位置之间的距离之工序，在各循环的转印工序中，根据在该测定工序测定到的距离，修正所述模具的模压位置。根据本专利技术的第4形态，提供一种，备有分配工序，在平坦面和在该平坦面具有成型面的模具中滴下光固化性树脂；转印工序，将所述模具和玻璃基板的一方压到另一方；曝光工序，在所述转印工序之后对所述光固化性树脂照射光；脱模工序，从所述模具脱模所述玻璃基板；作为1循环，在所述玻璃基板的第1位置上进行从分配工序到脱模工序的处理，然后，使所述模具相对所述玻璃基板移动，在所述玻璃基板的第 2位置上再进行上述1循环，多次反复上述，在所述玻璃基板上依次形成树脂透镜部，晶片透镜制造方法的特征在于，在各循环的前一循环的脱模工序之后下一循环的分配工序之前，具有检测所述透镜部周边非透镜部的非透镜部位置与所述玻璃基板上模具模压树脂一面之反面的第2玻璃位置，测定该非透镜部位置及第2玻璃位置间距离的用传感检测工序，在下一循环的分配工序中，根据在所述用传感检测工序测定到的测定距离，修正所述树脂向所述模具的滴下量。根据本专利技术的第5形态，提供一种，备有分配工序，在平坦面和在该平坦面具有成型面的模具中滴下光固化性树脂；转印工序，将所述模具和玻璃基板的一方压到另一方；曝光工序，在所述转印工序之后对所述光固化性树脂照射光；脱模工序，从所述模具脱模所述玻璃基板；作为1循环对1张玻璃基板进行从分配工序到脱模工序的处理，然后交换玻璃基板，再进行上述1循环，多次反复上述，在多张玻璃基板上依次形成树脂透镜部，晶片透镜制造方法的特征在于，在第1循环的脱模工序和第2循环的分配工序之间，具有测定所述透镜部周边非透镜部的非透镜部位置与所述玻璃基板上模具模压树脂一面之第1玻璃位置之间的距离之工序，在第2循环和该第2循环以后的转印工序中，根据在所述测定工序测定到的距离， 修正在转印工序中模具对玻璃基板的模压位置。根据本专利技术的第6形态，提供一种，备有分配工序，在平坦面和在该平坦面具有成型面的模具中滴下光固化性树脂；转印工序，将所述模具和玻璃基板的一方压到另一方；曝光工序，在所述转印工序之后对所述光固化性树脂照射光；脱模工序，从所述模具脱模所述玻璃基板；作为1循环对1张玻璃基板进行从分配工序到脱模工序的处理，然后交换玻璃基板，再进行上述1循环，多次反复上述，在多张玻璃基板上依次形成树脂透镜部，晶片透镜制造方法的特征在于，在第1循环的脱模工序和第2循环的分配工序之间，具有检测所述透镜部周边非透镜部的非透镜部位置与所述玻璃基板上模具模压树脂一面之反面的第2玻璃位置，算出该非透镜部位置及第2玻璃位置间的距离之工序，在第2循环和该第2循环以后的分配工序中，根据在所述算出工序算出的距离，修正所述树脂向所述模具的滴下量。根据本专利技术的第7形态，提供一种，备有分配工序，在平坦面和在该平坦面具有成型面的模具中滴下光固化性树脂；转印工序，将所述模具和玻璃基板的一方压到另一方；曝光工序，在所述转印工序之后对所述光固化性树脂照射光；本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...

【专利技术属性】
技术研发人员：藤井雄一，藤本章弘，泷谷俊哉，细江秀，
申请(专利权)人：柯尼卡美能达精密光学株式会社，
类型：发明
国别省市：