【技术实现步骤摘要】
本技术属于一种提纯气体的设备，具体涉及一种除去氧硫化碳中水分的干燥设备。
技术介绍
氧硫化碳(COS)又名羰基硫或羰酰硫。它是合成硫代氨基甲酸酯类农药和杀虫剂的重要原料，是一种重要的医药中间体和粮食熏蒸剂。近年来，氧硫化碳被发现在集成电路刻蚀工艺中有特殊的功效，世界上最领先的集成电路制造商已建立了以氧硫化碳为原料的芯片刻蚀生产线，并且该工艺有向所有集成电路制造商扩散的趋势。目前，除去氧硫化碳中水分的方法有多种，主要有低温冷冻法和干燥吸附法。低温冷冻法是在低温条件下，将氧硫化碳中大量饱和的水分除去。干燥吸附法是氧硫化碳以一定的流速通过特定的干燥吸附剂，达到除去氧硫化碳中痕量水分的目的。除去氧硫化碳中水分的方法不同，干燥设备的结构形式也不同。现有干燥吸附技术的设备结构复杂，操作困难，干燥效果不易控制和监测。
技术实现思路
本技术为了克服现有技术存在的缺点，其目的在于提供一种除去氧硫化碳中水分的设备。本技术的技术方案是一种除去氧硫化碳中水分的设备，包括筒体，筒体的顶部开口、并通过上法兰与顶盖密封连接，筒体的底部开口、并通过下法兰与底盖密封连接。在筒体内部的上端设置有上筛板，在筒体内部的下端设置有下筛板，在筒体外壁的上部设置有氧硫化碳出口和加料口，在筒体外壁的下部设置有氧硫化碳入口和卸料口。 在顶盖上分别设置氮气口和抽气口，在底盖上设置有放气口，在筒体的外壁周围设置有加热装置。 在所述的氧硫化碳入口上设置有流量测量口。在所述的在氧硫化碳出口上设置有水分在线监测口。所述的上筛板和下筛板上形成多个小孔，多个小孔规则排列，或者非规则排列。所述的上筛板和下筛板上的小孔直径要...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种除去氧硫化碳中水分的设备，包括筒体(20)，筒体(20)的顶部开口、并通过上法兰(5 )与顶盖(1)密封连接，筒体(20 )的底部开口、并通过下法兰(13 )与底盖(14 )密封连接，其特征在于在筒体(20)内部的上端设置有上筛板(6)，在筒体(20)内部的下端设置有下筛板(9)，在筒体(20)外壁的上部设置有氧硫化碳出口(18)和加料口(17)，在筒体 (20)外壁的下部设置有氧硫化碳入口(12)和卸料口(16)，在顶盖(1)上分别设置氮气口 (2)和抽气口(3)，在底盖(14)上设置有放气口(15)，在筒体(20)的外壁周围设置有...
【专利技术属性】
技术研发人员：张春芳，李于教，侯姝，赵娜，陈光华，
申请(专利权)人：核工业理化工程研究院华核新技术开发公司，
类型：实用新型
国别省市：
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