【技术实现步骤摘要】
本技术涉及一种拉晶炉，应用于半导体制造领域。
技术介绍
拉晶炉是将半导体粉末冶炼成半导体晶棒的装置，在现有技术中，每个拉晶炉具有一个炉腔，所述的炉腔是这样的它是由多个圆环形的耐火砖叠放而成的，中间的孔是炉腔孔，所述各个耐火砖的炉腔孔上下位置照应的，在相邻的耐火砖炉腔孔周围之间缝隙中具有电阻丝，这样的拉晶炉具有热效率低、浪费能源的缺点。
技术实现思路
本技术的目的就是针对上述缺点，提供一种热效率利用高、节省能源的集热式拉晶炉。本技术的技术方案是这样实现的一种集热式拉晶炉，它包括有多个耐火砖叠放而成的炉体，在相邻的耐火砖炉腔孔周围之间缝隙中具有电阻丝，其特征是所述的耐火砖周围具有多个炉腔孔，在所述的耐火砖外围具有炉腔外套。进一步的讲，所述的耐火砖中间具有一个大孔，在所述的大孔周围的耐火砖上有炉腔内套。本技术的有益效果是这样结构的集热式拉晶炉具有热效率利用高、节省能源的优点。附图说明图1是本技术的结构示意图。其中1、耐火砖2、炉腔孔 3、炉腔外套 4、大孔 5、炉腔内套。具体实施方式以下结合附图对本技术作进一步的描述。如图1所示，一种集热式拉晶炉，它包括有多个耐火砖1叠放而成的炉体，在相邻的耐火砖炉腔孔周围之间缝隙中具有电阻丝，其特征是所述的耐火砖1周围具有多个炉腔孔2，在所述的耐火砖1外围具有炉腔外套3。进一步的讲，所述的耐火砖1中间具有一个大孔4，在所述的大孔4周围的耐火砖上有炉腔内套5。这样的拉晶炉可以节能20%以上。
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种集热式拉晶炉，它包括有多个耐火砖叠放而成的炉体，在相邻的耐火砖炉腔孔周围之间缝隙中具有电阻丝，其特征是所述的耐火砖周围具有多个炉腔孔...
【专利技术属性】
技术研发人员：刘宝成，
申请(专利权)人：河南恒昌电子有限公司，
类型：实用新型
国别省市：
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