激光结晶系统及使用该系统制造显示装置的方法制造方法及图纸

一种激光结晶系统及使用该系统制造显示装置的方法，该系统包括：i)母基板，在该母基板中形成有非晶半导体层的第一、第二和第三显示区域沿第一方向顺序布置；ii)台子，支撑母基板并沿第一方向和垂直于第一方向的第二方向移动。该系统还包括：i)照射第一激光束的第一激光照射单元，第一激光束具有大于或等于第一、第二和第三显示区域之一在第一方向上的一侧的宽度的宽度；ii)第二激光照射单元，与第一激光照射单元隔开并照射第二激光束，第二激光束具有大于或等于第一、第二和第三显示区域之一在第一方向上的一侧的宽度的宽度，第一激光束对应第一显示区域在第一方向上的一侧的宽度且第二激光束对应第三显示区域在第一方向上的一侧的宽度。

【技术实现步骤摘要】

所描述的技术总地涉及激光结晶系统和使用该激光结晶系统制造显示装置的方法，并且更具体地说，涉及用于改进有源层的特性且容易形成该有源层的激光结晶系统，以及使用该激光结晶系统制造显示装置的方法。
技术介绍
近来，显示设备已经被便携式薄膜型平板显示器所代替。在这些平板显示器中，自发射的有机发光显示器具有大视角、良好对比度特性、快速响应速度和良好亮度特性，并且需要低驱动电压，从而作为下一代显示器引起了注意。这种显示器包括有源层，有源层通常通过形成非晶半导体层、在非晶半导体层上执行结晶工艺、以及对结晶后的非晶半导体层进行图案化而被形成。结晶工艺可以通过利用各种方法，并且主要通过利用激光被执行。为了制造工艺方便，平板显示器通常在形成于母基板上的多个显示区域中被形成。近来，母基板的尺寸根据对显示设备的制造效率和大数量的需求而得到增加。然而，使形成于大尺寸母基板上的显示区域的非晶半导体层结晶的工艺不容易被执行，这限制了形成具有期望特性的有源层。
技术实现思路
本专利技术一个方面在于用于改进有源层的特性且容易形成该有源层的激光结晶系统，以及使用该激光结晶系统制造显示装置的方法。另一方面在于一种激光结晶系统，包括母基板，在该母基板中，形成有非晶半导体层的第一、第二和第三显示区域沿第一方向被顺序布置；台子，用于支撑所述母基板并沿所述第一方向和沿垂直于该第一方向的第二方向移动；第一激光照射单元，用于照射第一激光束，该第一激光束具有大于或等于所述第一、第二和第三显示区域之一在所述第一方向上的一侧的宽度的宽度；和第二激光照射单元，与所述第一激光束间隔开并且照射第二激光束，该第二激光束具有大于或等于所述第一、第二和第三显示区域之一在所述第一方向上的所述一侧的宽度的宽度，其中所述第一激光束对应于所述第一显示区域在所述第一方向上的一侧的宽度，并且其中所述第二激光束对应于所述第三显示区域在所述第一方向上的一侧的宽度。所述第一激光照射单元可以包括第一快门单元，所述第二激光照射包括第二快门单元，所述第一激光束的宽度由该第一快门单元控制，并且所述第二激光束的宽度由该第二快门单元控制。在所述第一激光照射单元和所述第二激光照射单元被固定的同时通过沿所述第二方向移动所述台子，所述非晶半导体层可以被结晶。所述母基板可以是在一个方向上具有2500mm的宽度且在另一方向上具有2200mm 的宽度的第八代基板。所述母基板可以是在所述第一方向上具有2200mm的宽度且在所述第二方向上具有2500mm的宽度的第八代基板，并且其中所述第一、第二和第三显示区域中的每个具有适合用于形成55英寸显示装置的尺寸。所述激光结晶系统可以进一步包括第四、第五和第六显示区域，其中所述第四显示区域沿所述第二方向与所述第一显示区域平行地被布置，所述第五显示区域沿所述第二方向与所述第二显示区域平行地被布置，并且所述第六显示区域沿所述第二方向与所述第三显示区域平行地被布置。所述母基板可以是在所述第一方向上具有2500mm的宽度且在所述第二方向上具有2200mm的宽度的第八代基板，并且所述第一、第二和第三显示区域中的每个具有适合用于形成46英寸显示装置的尺寸。所述激光结晶系统可以进一步包括第四、第五、第六、第七和第八显示区域，其中所述第四显示区域沿所述第一方向与所述第三显示区域平行地被布置，所述第五显示区域沿所述第二方向与所述第一显示区域平行地被布置，所述第六显示区域沿所述第二方向与所述第二显示区域平行地被布置，所述第七显示区域沿所述第二方向与所述第三显示区域平行地被布置，并且所述第八显示区域沿所述第二方向与所述第四显示区域平行地被布置。通过维持所述第一激光照射单元和所述第二激光照射单元之间的间隙，多个结晶工艺可以被执行。另一方面提供一种制造显示装置的方法，该方法包括制备母基板，在该母基板中，形成有非晶半导体层的至少第一、第二和第三显示区域沿第一方向被顺序布置；将所述母基板设置在台子上，该台子沿所述第一方向和沿垂直于所述第一方向的第二方向移动； 通过沿所述第二方向移动所述台子、从设置在所述母基板的上部分上的第一激光照射单元照射与所述第一显示区域在所述第一方向上的一侧的宽度相对应的第一激光束、从设置在所述母基板的上部分上的第二激光照射单元照射与所述第三显示区域在所述第一方向上的一侧的宽度相对应的第二激光束、以及使所述第一显示区域和所述第三显示区域的非晶半导体层结晶，来形成有源层；以及在所述有源层的上部分上形成所述显示装置。所述第一激光束的宽度可以通过包括在所述第一激光照射单元中的第一快门单元控制；并且所述第二激光束的宽度可以通过包括在所述第二激光照射单元中的第二快门单元控制。所述使非晶半导体层结晶可以包括在所述第一激光照射单元和所述第二激光照射单元被固定的同时沿所述第二方向移动所述台子。所述方法可以进一步包括在使所述第一显示区域和所述第三显示区域的非晶半导体层结晶之后，沿所述第一方向移动所述台子、设置所述第一激光束或所述第二激光束以对应于所述第二显示区域、沿所述第二方向移动所述台子、以及使所述第二显示区域的非晶半导体层结晶。所述母基板可以是在一个方向上具有2500mm的宽度且在另一方向上具有2200mm 的宽度的第八代基板。所述母基板可以是在所述第一方向上具有2200mm的宽度且在所述第二方向上具有2500mm的宽度的第八代基板，并且所述第一、第二和第三显示区域中的每个具有适合用于形成阳英寸显示装置的尺寸。所述方法可以进一步包括第四、第五和第六显示区域，其中所述第四显示区域沿所述第二方向与所述第一显示区域平行地被布置，所述第五显示区域沿所述第二方向与所述第二显示区域平行地被布置，并且所述第六显示区域沿所述第二方向与所述第三显示区域平行地被布置，其中通过在使所述第一显示区域和所述第三显示区域的非晶半导体层结晶之后沿所述第二方向连续移动所述台子，所述第四显示区域和所述第六显示区域的非晶半导体层被结晶。所述方法可以进一步包括在使所述第一显示区域、所述第三显示区域、所述第四显示区域和所述第六显示区域的非晶半导体层结晶之后，沿所述第一方向移动所述台子， 设置所述第一激光束或所述第二激光束以对应于所述第二显示区域，沿所述第二方向移动所述台子，使所述第二显示区域的非晶半导体层结晶，沿所述第二方向连续移动所述台子， 以及使所述第五显示区域的非晶半导体层结晶。所述母基板可以是在所述第一方向上具有2500mm的宽度且在所述第二方向上具有2200mm的宽度的第八代基板，并且所述第一、第二和第三显示区域中的每个具有适合用于形成46英寸显示装置的尺寸。所述方法可以进一步包括第四、第五、第六、第七和第八显示区域，其中所述第四显示区域沿所述第一方向与所述第三显示区域平行地被布置，其中所述第五显示区域沿所述第二方向与所述第一显示区域平行地被布置，所述第六显示区域沿所述第二方向与所述第二显示区域平行地被布置，所述第七显示区域沿所述第二方向与所述第三显示区域平行地被布置，并且所述第八显示区域沿所述第二方向与所述第四显示区域平行地被布置，其中通过在使所述第一显示区域和所述第三显示区域的非晶半导体层结晶之后沿所述第二方向连续移动所述台子，所述第五显示区域和所述第七显示区域的非晶半导体层被结晶。所述方法可以进一步包括在使所述本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：吴在焕，崔宰凡，李源规，张荣真，陈圣铉，
申请(专利权)人：三星移动显示器株式会社，
类型：发明
国别省市：