叉指状竖直平行电容器制造技术

一种叉指状结构，其可以包括：至少一个第一金属线；至少一个第二金属线，其与至少一个第一金属线平行并且与其分离；以及第三金属线，其与至少一个第一金属线的端部接触，并且与至少一个第二金属线分离。至少一个第一金属线并不与任何金属过孔竖直接触，而至少一个第二金属线可以与至少一个金属过孔竖直接触。多层的叉指状结构可以竖直地堆叠。备选地，叉指状结构可以包括多个第一金属线、多个第二金属线，每个金属线并不与任何金属过孔垂直接触。可以在旋转或者不旋转的情况下，使叉指状结构的多个实例横向地复制和结合，和/或竖直堆叠以形成电容器。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术涉及电容器结构，并且具体地涉及具有叉指状导电线的电容器结构及其制造方法。
技术介绍
现有技术的后端工艺(BEOL)金属电容器采用嵌入在介电材料层中的导电线。导电线与形成用于金属互连结构的其他金属线同时被形成为填充介电材料层中的线沟槽的金属线。导电线之间的距离通常是关键尺度，即可以由光刻方法印刷的最小尺度。由于这种BEOL金属电容器在用于形成其他金属互连结构的同一处理步骤中形成，所以这种BEOL 金属电容器可以在不引起附加处理成本的情况下制造。由于金属线之间的相对大的分开距离，这样的BEOL金属电容器需要相对大的面积。当期望这种BEOL金属电容器的面积较小时，无法在不增加将导电线电连接到不同层的导电结构的金属过孔与其附近的其他导电结构之间的电短路的风险的情况下减小导电线的线宽度。具体地，相对于在下部，在上部中的金属过孔倾向于形成为具有较宽的直径，借此增加了金属过孔的面积并且因此当金属过孔位于金属线正下方时增加了电短路的可能性。由于在金属线正下方的金属过孔的存在倾向于使金属线的物理宽度变宽，并且增加金属过孔和邻近导电结构之间的短路的可能性，所以现有技术的BEOL金属电容器面临本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...

【专利技术属性】
技术研发人员：R·A·小布思，D·D·库尔博，E·E·亨，何忠祥，
申请(专利权)人：国际商业机器公司，
类型：发明
国别省市：