抑制沉积物在制造系统中的形成的方法技术方案

一种方法抑制沉积物在电极的冷却表面上的形成。电极在将材料沉积在载体主体上的制造系统中使用。冷却表面包含铜。系统包括界定室的反应器。电极被至少部分地布置在室内并且支持载体主体。循环系统与电极流体连通，向冷却表面和从冷却表面运输冷却剂组合物。冷却剂组合物包含冷却剂和来自冷却表面的溶解铜。过滤系统与循环系统流体连通。所述方法加热电极。电极的冷却表面与冷却剂组合物接触。材料被沉积在载体主体上，并且冷却剂组合物被过滤系统过滤以从其除去溶解铜的至少一部分。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术大体上涉及包括电极的制造系统以及抑制沉积物在电极上的形成的方法。 更具体地，本专利技术涉及包括电极的制造系统，所述电极用于将材料沉积在载体主体上并用冷却剂组合物冷却，以及涉及由于电极和冷却剂组合物之间的接触而抑制沉积物在电极上的形成的方法。
技术介绍
本领域中已知用于将材料沉积在载体主体上的方法。一种这样的方法使用包括界定室的反应器的制造系统。电极被布置在室内，以将载体主体支持在室内。典型地，电极包含高导电性材料，例如铜。制造系统还包括被耦合于电极的用于向电极提供电流使得电流经过电极并且进入载体主体中的电源。电流的流过产生在电极内的热并且将载体主体加热至沉积温度。反应性气体和包含材料的前体被引入室中。一旦载体主体达到沉积温度，那么前体与反应性气体的反应会导致材料在载体主体上的沉积。然而，材料将还被沉积至电极上， 如果电极达到沉积温度的话。因此，期望的是，防止电极达到沉积温度，同时仍然使载体主体能够达到沉积温度。具有多个已知的用于防止电极达到沉积温度的方法。在一个实施方案中，电极具有冷却表面，并且提供了用于接触冷却表面以消散在电极内产生的热的冷却剂组合物。冷却剂组合物和电极本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...

【专利技术属性】
技术研发人员：M·德蒂亚，詹森·贾尔迪纳，杰米·范德霍夫尔，迈克尔·豪姆斯特，迈克尔·约翰·莫尔纳，罗伯特·E·斯特拉顿，斯蒂芬·帕夫利克夫斯基，
申请(专利权)人：赫姆洛克半导体公司，
类型：发明
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