面向IC装备控制软件的GUI平台化实现方法技术

本发明专利技术涉及一种面向IC装备控制软件的GUI平台化实现方法，包括以下步骤：根据不同厂商的IC设备特点开发相应的IC设备驱动模块和绘制GUI平台界面；利用上述IC设备驱动模块将IC装备的监控主机与控制器进行连接，形成通讯网络；IC设备驱动模块通过上述通讯网络读写控制器中的数据，并将数据映射到GUI平台的通用数据层；GUI平台界面利用通用数据层进行数据的实时显示、控制和异常处理，实现IC装备控制软件的GUI平台化。本发明专利技术实现了跨平台机制，提高了晶圆制造设备的集群监控能力，可满足用户对相应控制系统的人机界面的灵活组态和配置，使整个生产过程能在短时间内快速组态，保证生产提前启动的需要。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术属于组态监控与通信技术，具体地说是一种面向IC装备控制软件的⑶I平台化实现方法。
技术介绍
目前国内半导体厂商对利用ICGntegrate circuit，集成电路)装备加工晶圆工艺的投资已朝向晶圆直径为12英寸发展，其晶圆生产工序日渐复杂，而很多生产设备可能来至不同的设备制造厂商，这就给上层人机⑶1(图形用户界面，Graphical User Interface)交互和生产管理带来困难。特别是人机GUI界面的交互，对于不同设备商和用户，每次都要重新开发新的应用程序。这对于加快产品化生产造成了阻碍，无法满足半导体生产过程中生产线快速投入使用的需要。国内半导体设备制造商所使用的软件主要是直接购买国外产品或购买软件授权以进行简单的二次开发，而且软件的使用具有相当的局限性，不能与其他厂商设备通用，运行成本极高。目前国内外市场上没有出现通用的产品软件，普遍面临设备和控制系统GUI人机界面的改造及新系统的⑶I开发问题。
技术实现思路
针对现有技术中半导体设备存在的产品软件通用性差等不足之处，本专利技术要解决的技术问题是提供一种通用强、组态灵活的面向IC装备控制软件的GUI平台化实现方法。为解决上述技术问题，本专利技术采用的技术方案是本专利技术一种面向IC装备控制软件的⑶I平台化实现方法包括以下步骤根据不同厂商的IC设备特点开发相应的IC设备驱动模块和绘制GUI平台界面；利用上述IC设备驱动模块将IC装备的监控主机与控制器进行连接，形成通讯网络；IC设备驱动模块通过上述通讯网络读写控制器中的数据，并将数据映射到⑶I平台的通用数据层；⑶I平台界面利用通用数据层进行数据的实时显示、控制和异常处理，实现IC装备控制软件的GUI平台化。所述IC设备驱动模块将IC装备的监控主机与控制器进行连接包括以下步骤判断IC装备的监控主机与控制器是否已建立连接；如果没有建立连接，则对IC装备的监控主机与控制器进行连接操作，同时判断连接时间是否超时；如果没有超时，即在规定时间内监控主机与控制器连接完成，则启动接收数据线程，注册回调函数，建立命令输出通道，IC设备驱动模块向控制器发送操作请求命令；判断IC设备驱动模块向控制器发送操作请求命令是否超时；如果没有超时，则发送成功，接收应答数据包，一次操作请求结束；如果发送操作请求命令超时，则向IC设备驱动软件返回错误码，一次操作请求结束；如果监控主机与控制器已连接或连接时间超时，则结束本次监控主机与控制器的连接。所述注册回调函数包括以下步骤IC设备驱动模块接收回调数据；根据回调数据类型进行数据包编码；将编码后的数据包向GUI平台界面进行数据事件发布，结束本次回调。⑶I平台界面利用通用数据层进行数据控制包括以下步骤当有用户控制操作请求时，则根据操作类型分别送入相应的输出通道；通过IC设备驱动模块将用户控制操作请求写入控制器。⑶I平台界面利用通用数据层进行数据的实时显示包括以下步骤注册事件接收回调接口 ；判断是否响应事件，如果响应事件，则对接收到的数据包进行解码操作，得到解码后的数据段；根据回调类型将数据段发布到IC图元控件；判断数据段名与IC图元控件接口的用户配置名是否相同；如果相同，则刷新该IC图元控件接口的用户配置名的对应值，结束本次实时显示；如果数据段名与IC图元控件接口的用户配置名不相同，则返回判断数据段名与 IC图元控件接口的用户配置名是否相同步骤；如果不响应事件，则返回判断是否响应事件步骤。所述⑶I平台界面通过以下过程建立利用图形软件绘制IC装备⑶I平台界面；在⑶I平台界面中配置IC图元控件接口 ；在IC图元控件接口中配置IC设备驱动模块的变量名称；保存配置工程，完成⑶I平台界面的建立。本专利技术具有以下有益效果及优点1.本专利技术采用标准的分布式网络接口协议，为半导体设备等所制定的集束型控制系统提供了标准化的软件接口和GUI人机界面实现方法，有利于不同IC装备控制系统标准化；通过对操作系统底层接口的封装，实现了跨平台机制，提高了晶圆制造设备的集群监控能力，从而有效的解决了人机交互通讯及控制问题，提高了半导体厂商加工和设备管理的自动化水平。2.本专利技术通过对控制设备的数据收集、设备控制和异常处理功能及⑶I人机界面图元机制的封装，可满足用户对相应控制系统的人机界面的灵活组态和配置，使整个生产过程能在短时间内快速组态，保证生产提前启动的需要。3.本专利技术通过回调和事件的请求应答处理机制，完善了⑶I界面与控制器的的通讯，有效的解决了设备异常报警和实时监控等问题，有效的保证了工艺生产的要求。附图说明图1为设备驱动模块端连接控制器流程图；图2为注册回调和命令发送流程图；图3为IC图元控件模型结构图；图4为IC图元控件刷新流程图；图5为⑶I图形化组态模块结构图；图6为用户自定义EventArg消息格式；图7为实施例界面图。具体实施例方式下面结合附图对本专利技术作进一步详细说明。本专利技术面向IC装备控制软件的⑶I平台化实现方法包括以下步骤1)根据不同厂商的IC设备特点开发相应的IC设备驱动模块。本实施例以DeviceNet PLC控制器为例，该控制器集成IC装备全部所需控制数据，为了读写该控制器的数据，完成生产需要，根据DeviceNet协议开发该控制器的IC设备驱动模块。首先建立DeviceNet客户对象，然后构建DeviceNet协议请求数据包，向控制器发送读操作请求命令，控制器根据请求返回应答数据，IC设备驱动模块根据DeviceNet协议解析应答数据包，得到控制器实时数据。当有写操作请求时，根据构建的DeviceNet客户对象向要写操作的数据变量发送写操作命令，完成写操作请求。2)绘制⑶I平台界面根据不同厂商的IC装备特点通过IC图元控件或者用户自定义方式绘制相应的监控画面图。该过程可以由用户根据具体的工艺流程决定，但是IC图元控件的开发一定要遵守本专利技术规范。绘制好的GUI平台界面需要进行人为配置才能实施监控，具体介绍见图5 所示介绍。3)利用上述IC设备驱动模块将IC装备的监控主机与控制器进行连接，形成通讯网络；4) IC设备驱动模块通过上述通讯网络读写控制器中的数据，并将数据映射到⑶I 平台的通用数据层；当IC驱动模块与控制器连接成功后，可定时读取控制器的实时数据，并根据用户操作请求下发操作命令，这些数据都可以映射到GUI平台的通用数据层，该通用数据层是用于数据缓冲的一个数据缓冲池。为GUI平台实时数据显示提供数据源。5)⑶I平台界面利用通用数据层进行数据的实时显示、控制和异常处理，实现IC 装备控制软件的GUI平台化。如图1所示，为IC设备驱动模块端连接控制器流程图。所述IC设备驱动模块将 IC装备的监控主机与控制器进行连接包括以下步骤判断IC装备的监控主机与控制器是否已建立连接；如果没有建立连接，则对IC装备的监控主机与控制器进行连接操作，同时判断连接时间是否超时(本实施例中连接间隔计时器T5的规定时间为5秒)；如果没有超时，即在规定时间内监控主机与控制器连接完成，则启动接收数据线程，注册回调函数，建立命令输出通道，IC设备驱动模块向控制器发送操作请求命令；判断IC设备驱动模块向控制器发送操作请求命令是否超时(本实施例中选择计时器T3的规定时间为3秒)；如果没有超时，则发送成功，接收应答数据包本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
...

【专利技术属性】
技术研发人员：于海斌，徐皑冬，刘明哲，李正，王锴，金妮，张吉龙，
申请(专利权)人：中国科学院沈阳自动化研究所，
类型：发明
国别省市：