【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及扫描成像领域，尤其涉及一种终端执行器测量/加工点快速切换方法。
技术介绍
1、诸如原子力显微镜(afm)的扫描探针显微镜(spm)是如下装置：其通常采用具有尖端的探针，并且使得尖端以小的力与样本的表面相互作用，从而以低至原子尺度来表征该表面。通常，探针被引入到样本的表面以检测样本特征的改变。具体的，通过在尖端与样本之间提供相对扫描移动，可以在样本的特定区域之上获取表面特征数据，并且可以生成样本的相应图。通常，需要对同一样品的不同区域进行纳米测量，比如，在晶圆关键尺寸检测场景中，需要对一片晶圆上的多个芯片进行测量。
2、其中，当涉及到探针测量点的切换时，现在已有的技术手段是，在某一个测量点测量完成后，将探针抬离样品，然后移动探针到达下一个测量点的上方，然后缓慢下针直到探针接触样品，至此探针测量点切换结束。现有方法需要抬针、移动和缓慢下针；此过程所需时间至少20s，而且，下针太快容易在探针接触样品瞬间损伤针尖。因而，开发一种可以保证不损伤针尖和样品的情况下，大范围高速移动探针的方案，成为本领域技术人员亟待要解决的技术重点。
技术实现思路
1、本专利技术提供一种终端执行器测量/加工点快速切换方法，以解决终端执行器抬高的第一高度相对较小的同时，避免终端执行器相对于样品移动的过程中碰到样品的问题。
2、根据本专利技术的第一方面，提供了一种终端执行器测量/加工点快速切换方法，用于将所述终端执行器从样品表面的第一目标点移动到第二目标点；
3、获取
4、根据所述第一目标点信息和所述第一高度信息，当所述终端执行器到达所述第一目标点时，控制所述终端执行器抬高到第一高度；所述第一高度表征了所述终端执行器在所述样品表面上方的某一高度；
5、根据所述第一高度信息、所述第一目标点信息和所述第二目标点信息，控制所述终端执行器从所述第一目标点向所述第二目标点移动，或控制所述样品向第一方向移动，并在移动过程中保持所述终端执行器在所述样品表面上方的所述第一高度不变；所述第一方向表征了所述第二目标点指向所述第一目标点的方向；
6、根据所述第一高度信息和所述第二目标点信息，当所述终端执行器到达所述第二目标点时，控制所述终端执行器降落到所述样品表面，
7、其中，所述终端执行器从所述第一目标点向所述第二目标点移动的过程中，所述终端执行器的移动轨迹沿着所述样品表面；所述第一高度在0.5um-40um之间。
8、可选的，在移动过程中保持所述终端执行器在所述样品表面上方的所述第一高度不变，包括：
9、在控制所述终端执行器从所述第一目标点移动到所述第二目标点，或控制所述样品向第一方向移动的过程中，时实检测并获取所述样品和所述终端执行器之间的距离；
10、根据获取得的所述样品和所述终端执行器之间的距离和所述第一高度产生补偿信号；
11、根据所述补偿信号控制所述终端执行器产生补偿运动，使得在移动过程中保持所述终端执行器在所述样品表面上方的所述第一高度不变。
12、可选的，在移动过程中保持所述终端执行器在所述样品表面上方的所述第一高度不变；具体包括：
13、获取设定幅值信号；所述设定幅值信号适配于所述第一高度；
14、在控制所述终端执行器从所述第一目标点移动到所述第二目标点，或控制所述样品向第一方向移动的过程中，时实检测并获取所述终端执行器的第一受激振幅；所述第一受激振幅表征了所述终端执行器在共振状态下，所述终端执行器靠近所述样品时在压膜阻尼力作用下而产生的振幅；且所述第一受激振幅与所述样品和所述终端执行器之间的实时距离相关；
15、根据所述设定幅值信号和时实获取的所述第一受激振幅产生所述补偿信号，根据所述补偿信号控制所述终端执行器产生所述补偿运动，以使得所述终端执行器在所述样品表面上方保持在第一高度不变。
16、可选的，在控制所述终端执行器从所述第一目标点移动到所述第二目标点，或控制所述样品向第一方向移动的过程中，时实检测并获取所述终端执行器的第一受激振幅之前还包括：
17、激励所述终端执行器在所述第一目标点时产生共振，以使得所述终端执行器在靠近所述样品时在压膜阻尼力作用下而产生所述第一受激振幅。
18、可选的，根据所述第一目标点信息和所述第一高度信息，当所述终端执行器到达所述第一目标点时，控制所述终端执行器抬高到第一高度，具体包括：
19、根据所述第一目标点位置信息，判断所述终端执行器是否达到所述第一目标点；若所述终端执行器到达所述第一目标点，则：根据所述第一高度信息，控制所述终端执行器抬高到所述第一高度。
20、可选的，控制所述终端执行器从所述第一目标点向所述第二目标点移动，或控制所述样品向第一方向移动，具体包括：
21、根据所述第二目标点位置信息和所述第一目标点位置信息得到第二方向或所述第一方向，控制所述终端执行器向所述第二方向移动，或控制所述样品向所述第一方向移动；所述第二方向表征了所述第一目标点指向所述第二目标点的方向。
22、可选的，根据所述第一高度信息和所述第二目标点信息，当所述终端执行器到达所述第二目标点时，控制所述终端执行器降落到所述样品表面，具体包括：
23、根据所述第二目标点位置信息，判断所述终端执行器是否达到所述第二目标点；若所述终端执行器到达所述第二目标点，则：根据所述第一高度信息，控制所述终端执行器降落到所述样品表面。
24、可选的，根据所述第二高度信息和所述第二目标点信息，当所述终端执行器到达所述第二目标点时，控制所述终端执行器降落到所述样品表面上方第二高度处之后还包括：
25、控制所述终端执行器在所述第二目标点时停止共振。
26、根据本专利技术的第二方面，提供了一种终端执行器的移动装置，用于执行本专利技术第一方面任一项所述的一种终端执行器测量/加工点快速切换方法，该装置包括：
27、信号获取模块；用于获取第一目标点位置信息、第二目标点位置信息以及第一高度信息；
28、位置识别和驱动模块；用于根据所述第一目标点位置信息和所述第一高度信息，控制所述终端执行器在到达第一目标点时抬高到第一高度，或根据所述第二目标点位置信息和所述第一高度信息，控制所述终端执行器在到达第二目标点时下落到所述样品表面，以及根据所述第二目标点位置信息和所述第一目标点位置信息，控制所述终端执行器从所述第一目标点向所述第二目标点移动，或控制样品向第一方向移动；
29、反馈控制模块用于根据所述第一高度信息，控制所述终端执行器从所述第一目标点向所述第二目标点移动，或控制所述样品向第一方向移动的过程中，保持所述终端执行器在所述样品表面上方的所述第一高度不变，以使得所述终端执行器的移动轨迹沿着所述样品表面。
30、可选的，所述反馈控制模块包括：
31、第一距离检本文档来自技高网...
【技术保护点】
1.一种终端执行器测量/加工点快速切换方法，用于将所述终端执行器从样品表面的第一目标点移动到第二目标点；其特征在于，
2.根据权利要求1所述的一种终端执行器测量/加工点快速切换方法，其特征在于，并在移动过程中保持所述终端执行器在所述样品表面上方的所述第一高度不变，包括：
3.根据权利要求2所述的一种终端执行器测量/加工点快速切换方法，其特征在于，并在移动过程中保持所述终端执行器在所述样品表面上方的所述第一高度不变；具体包括：
4.根据权利要求3所述的一种终端执行器测量/加工点快速切换方法，其特征在于，
5.根据权利要求4所述的一种终端执行器测量/加工点快速切换方法，其特征在于，根据所述第一目标点信息和所述第一高度信息，当所述终端执行器到达所述第一目标点时，控制所述终端执行器抬高到第一高度，具体包括：
6.根据权利要求5所述的一种终端执行器测量/加工点快速切换方法，其特征在于，控制所述终端执行器从所述第一目标点向所述第二目标点移动，或控制所述样品向第一方向移动，具体包括：
7.根据权利要求6所述的一种终端执行器
8.根据权利要求7所述的一种终端执行器测量/加工点快速切换方法，其特征在于，
9.一种终端执行器的移动装置，其特征在于，用于执行权利要求1-8任一项所述的一种终端执行器测量/加工点快速切换方法，该装置包括：
10.根据权利要求9所述的终端执行器的移动装置，其特征在于，所述反馈控制模块包括：
11.一种电子设备，其特征在于，包括处理器与存储器，所述存储器，用于存储代码；
12.一种存储介质，其上存储有计算机程序，该程序被处理器执行时实现权利要求1至8任一项所述的一种终端执行器测量/加工点快速切换方法。
...【技术特征摘要】
1.一种终端执行器测量/加工点快速切换方法，用于将所述终端执行器从样品表面的第一目标点移动到第二目标点；其特征在于，
2.根据权利要求1所述的一种终端执行器测量/加工点快速切换方法，其特征在于，并在移动过程中保持所述终端执行器在所述样品表面上方的所述第一高度不变，包括：
3.根据权利要求2所述的一种终端执行器测量/加工点快速切换方法，其特征在于，并在移动过程中保持所述终端执行器在所述样品表面上方的所述第一高度不变；具体包括：
4.根据权利要求3所述的一种终端执行器测量/加工点快速切换方法，其特征在于，
5.根据权利要求4所述的一种终端执行器测量/加工点快速切换方法，其特征在于，根据所述第一目标点信息和所述第一高度信息，当所述终端执行器到达所述第一目标点时，控制所述终端执行器抬高到第一高度，具体包括：
6.根据权利要求5所述的一种终端执行器测量/加工点快速切换方法，其特征在于，控制所述终端执行器...
【专利技术属性】
技术研发人员：刘连庆，翟胜杭，施佳林，于鹏，杨铁，杨洋，苏全民，
申请(专利权)人：中国科学院沈阳自动化研究所，
类型：发明
国别省市：
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