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本发明涉及一种面向IC装备控制软件的GUI平台化实现方法，包括以下步骤：根据不同厂商的IC设备特点开发相应的IC设备驱动模块和绘制GUI平台界面；利用上述IC设备驱动模块将IC装备的监控主机与控制器进行连接，形成通讯网络；IC设备驱动模块通...
该专利属于中国科学院沈阳自动化研究所所有，仅供学习研究参考，未经过中国科学院沈阳自动化研究所授权不得商用。

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