异型石英玻璃管生产方法技术

本发明专利技术公开了一种异型石英玻璃管生产方法，异型石英玻璃管包括大径部分和小径部分，大径部分与小径部分之间通过变径部分连接，包括步骤：选择直径与所述异型石英玻璃管的大径部分相当的石英玻璃管装到玻璃车床上，将石英玻璃管需要加工为小径部分和变径部分的部位持续加热到软化温度，利用开放式石墨模具将软化的石英玻璃管在持续加热的条件下成型到所需尺寸，之后进行退火处理。成本低、操作简单、加工精度高、生产效率高。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种石英玻璃生产工艺，尤其涉及一种。
技术介绍
石英玻璃广泛应用于光纤通讯、微电子、电子半导体、太阳能、航天和激光与新型光源等
随着半导体产业的快速发展，其高端产品-化合物半导体制造业也随之迅速发展。目前，垂直梯度凝固法/垂直布里奇曼法(VGFNB)以其良好的技术和产业特点已成为生产砷化镓(GaAs)和磷化铟αηΡ)单晶的主要方法。异型石英玻璃管是与该工艺配套使用的一种消耗性材料，依据生产的化合物晶体尺寸不同其规格、尺寸各异。众所周知， 石英玻璃因其软化温度和熔化温度极高(1730°C以上)，高温黏度极大，因此传统的整形方法实现异型石英玻璃管的成型难度大且不能完成尺寸的精确加工。异型石英玻璃包括大径部分和小径部分，大径部分与小径部分之间通过变径部分连接，变径部分由于承重承压，要求尺寸精度高。现有技术中，此类异型石英制品传统的加工工艺一般为两种，以加工一种异型石英玻璃(6英寸)管分别进行说明一种是利用简单的石墨托板整形，如图1所示石英玻璃管在氢、氧焰加热下，利用石墨托板逐步整形出所需要的形状。所用气体材料氢气，168M3，氧气，84M3，气体成本约1540元/本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：孔敏，王友军，王鑫，王佳佳，
申请(专利权)人：北京金格兰石英玻璃有限公司，
类型：发明
国别省市：