本发明公开了一种石英玻璃晶圆用毛坯的加工方法及装置，使用中频加热炉将石英玻璃坨加热至熔融状态，利用牵引系统通过下料口熔拉成棒状毛坯，冷却后得到晶圆用石英玻璃毛坯棒料。熔拉过程中，利用测径仪测得的毛坯棒料的直径信息控制熔拉速度调节所述毛坯...

本实用新型公开了一种主动加压中频炉熔拉石英玻璃棒材的装置，包括中频炉炉盖、中频感应圈，中频感应圈内设有石墨坩埚，石墨坩埚的下部设有石墨下料口或成型器，石墨坩埚内设有石墨压板，石墨压板的上部连接有石墨连接压杆，石墨连接压杆向上穿透所述中频...

本发明公开了一种主动加压中频炉熔拉石英玻璃棒材的装置及方法，包括中频炉炉盖、中频感应圈，中频感应圈内设有石墨坩埚，石墨坩埚的下部设有石墨下料口或成型器，石墨坩埚内设有石墨压板，石墨压板的上部连接有石墨连接压杆，石墨连接压杆向上穿透所述中...

本实用新型公开了一种异型石英玻璃管生产模具，包括开放式型腔，开放式型腔的径向尺寸小于或等于整体型腔的径向尺寸的1/2。异型石英玻璃管包括大径部分和小径部分，大径部分与小径部分之间通过变径部分连接，可以选择直径与所述异型石英玻璃管的大径部...

本发明公开了一种异型石英玻璃管生产方法，异型石英玻璃管包括大径部分和小径部分，大径部分与小径部分之间通过变径部分连接，包括步骤：选择直径与所述异型石英玻璃管的大径部分相当的石英玻璃管装到玻璃车床上，将石英玻璃管需要加工为小径部分和变径部...

本发明公开了一种光掩膜版用方形石英玻璃基片的制备方法，首先，以SiCl4为原料合成高纯不规则的石英玻璃圆柱形坨体；然后，将所述不规则的石英玻璃圆柱形坨体放在真空加压炉内进行槽沉均化、精密退火，制成方形坨体；之后，将所述方形坨体经切割、研...

本实用新型公开了一种靠模车床，在普通机床的导轨侧面设有靠模导轨，普通车床的走刀架上活动设有磨头，磨头上设有金刚石磨轮，磨头连接有导向滑块，导向滑块置于所述靠模导轨中。可以将带凸球的毛坯棒在靠模机床上直接磨削成成品棒。节约了传统工艺技术中...

本实用新型公开了一种石英玻璃抛光机，包括走刀架，走刀架上装有主轴，主轴的前端装有抛光轮，走刀架与主轴之间设有转动装置和滑动装置。主轴可相对走刀架转动和滑动，调整抛光轮的姿态及在竖直方向上的高度。主轴与抛光轮之间设有弹性装置，主轴与抛光轮...

本实用新型公开了一种石英玻璃制品高效退火设备，包括炉膛，炉膛内设有多个分割炉管，多个分割炉管在炉膛内水平、多层放置，分割炉管内设有３个放置石英玻璃制品的垫托。采用炉膛分割方式，可以实现高效节能、规模化生产，使退火工序的效率提高数倍以上；...

本实用新型公开了一种石英玻璃热顶成型的装置，包括坩埚，坩埚的下部设有坩埚台，坩埚台的中部设有出料口，出料口的下方竖直设有顶杆，顶杆的上部设有热顶头；坩埚的外部设有中频感应炉；顶杆设有自动对心装置。采用垂直热顶技术实现厚壁管成型，可以减少...

本发明公开了一种石英玻璃热顶成型的方法，将热顶头置于加热后的石英玻璃熔体的下方，采用垂直热顶的方法制备石英玻璃厚壁管。热顶过程中，热顶头固定，利用石英玻璃熔体重力和热顶头的支撑力实现热顶；利用石英玻璃熔体的表面张力对热顶头进行自动对心；...

本发明公开了一种球型石英玻璃棒的生产方法，首先在热工机床上对原料石英棒的中部需要的部位进行局部加热，并对原料石英棒的两端进行挤压，挤压出带凸球的毛坯棒；之后将所述带凸球的毛坯棒在靠模机床上磨削成成品棒。节约了传统工艺技术中原材料的消耗，...

本发明公开了一种石英玻璃透镜毛坯成型的装置和方法，包括石墨坩埚，石墨坩埚外设有中频感应炉，石墨坩埚内设有石墨模具，石墨模具包括上压头和下模具。利用石墨模具的上压头和下模具压制毛坯，利用频感应炉对石英玻璃原材料加热，高温下软化的石英玻璃原...

本实用新型公开了一种精密测量石英玻璃棒弯曲度的装置，包括主轴，主轴的一端设有卡盘，主轴通过前轴承和后轴承支撑。前轴承和后轴承为静压轴承，静压轴承的内壁与主轴之间设有环形空腔，静压轴承的壁上设有多个油孔，环形空腔通过油孔与外部的液压装置相...

本发明公开了一种异型石英玻璃把持棒的生产方法及设备，首先将石英玻璃原料坨拉制成两端直径不同的异型棒毛坯；然后将异型棒毛坯加工成异型棒；再对所述异型棒进行火焰抛光和精密退火。拉制异型棒毛坯所用的熔化炉的下部设有锥形下料口，锥形下料口的侧壁...

本实用新型公开了一种石英玻璃倒角机，包括滑架，滑架上装有磨头架，磨头架与滑架之间设有相对应的导槽和导轨；磨头架上装有主轴，磨头架与主轴之间设有转动装置，并设有分度盘；磨头与主轴之间设有伸缩装置；滑架装与工作台之间设有相配合的滑轨、滑槽。...