多晶硅铸锭用坩埚涂覆机及坩埚涂覆方法技术

本发明专利技术公开了一种多晶硅铸锭用坩埚涂覆机及坩埚涂覆方法，属于多晶硅制备技术领域。坩埚涂覆机包括底座、支撑部，支撑部上端铰接转轴支架，转轴支架内有转轴，转轴的一端可拆卸的固定有坩埚，转轴的另一端连接有动力源；转轴支架与底座之间装有液压支柱。坩埚涂覆方法包括安装和清理坩埚、倒浆料、垂直旋转涂覆坩埚底部、水平旋转涂覆坩埚侧面、倒出浆料余料、取下坩埚等步骤。使用本发明专利技术坩埚涂覆机及坩埚涂覆方法，可实现坩埚自动或半自动旋转涂覆，取代传统的人工喷涂方式，解决浆料涂覆不匀产生的硅料粘埚等问题，节约时间，提高生产效率，保证产品质量，减少劳动强度。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种多晶硅铸锭用坩埚涂覆设备和坩埚涂覆方法，属于多晶硅制备

技术介绍
目前，多晶硅铸锭用坩埚内的氮化硅涂层是采用人工喷涂方式涂覆，这种工作方式不仅效率很低，而且现场作业环境恶劣，劳动强度大，对工人的身心健康均造成不良影响，涂覆质量容易受个人技术和生产情绪的制约，良品率无法保证。而坩埚涂覆不勻会造成后续程序中出现硅料粘埚等问题，影响生产效率、生产安全和产品质量。
技术实现思路
为了克服上述现有技术的不足之处，本专利技术提供一种，用自动或半自动旋转涂覆，取代人工喷涂方式，保证涂覆均勻，解决硅料粘埚等问题，节约时间，提高生产效率。本专利技术是通过如下技术方案实现的一种多晶硅铸锭用坩埚涂覆机，它包括底座， 底座上固定有支撑部，支撑部上端有铰支座，铰支座上铰接有转轴支架，转轴支架内穿入转轴，转轴与转轴支架之间装有轴承，所述的转轴的一端伸出所述的转轴支架外可拆卸的固定有坩埚，所述的转轴的另一端连接有动力源；所述的转轴支架靠近坩埚的一端与所述的底座之间装有液压支柱，液压支柱的一端与所述的转轴支架铰接，液压支柱的另一端与所述的底座铰接。所述的坩埚为有密封盖的方形盒体。所述的支撑部为固定支柱。所述的动力源是电机。一种多晶硅铸锭坩埚涂覆方法，包括如下步骤步骤一、首先布置好可上下转动的转轴支架，然后将坩埚安装到转轴支架内的转轴上，固定坩埚并清理坩埚内壁，准备好后，用液压支柱将转轴支架调整至垂直状态，使坩埚开口朝上；步骤二、将准备好的足量的浆料倒入坩埚内，盖上密封盖将坩埚封闭，然后启动动力装置使转轴旋转，带动坩埚沿垂直轴线勻速旋转，浆料随着坩埚的旋转将坩埚的底部涂覆均勻；步骤三、旋转30秒 90秒后，使转轴停止，用液压支柱将转轴支架调整至水平状态，然后启动动力装置使转轴旋转，带动坩埚沿水平轴线勻速旋转，浆料随着坩埚的旋转将坩埚的侧面涂覆均勻；步骤四、旋转90秒 180秒后，使转轴停止，将转轴支架由水平状态向下倾斜，打开坩埚密封盖，使剩余浆料自动流出；然后调整转轴支架角度，将坩埚取下，完成涂覆过程。步骤二中，倒入坩埚内的浆料的高度为2 3厘米。步骤二和步骤三中，所述转轴的转速为每分钟8 12转。本专利技术的有益效果是可实现多晶硅铸锭用坩埚自动或半自动旋转涂覆，取代传统的人工喷涂方式，解决浆料涂覆不勻产生的硅料粘埚等问题，节约时间，提高生产效率， 保证产品质量，改善现场环境卫生，保护员工身心健康，减少劳动强度。附图说明下面根据附图和实施例对本专利技术进一步说明。图1是本专利技术结构示意图；图2是图1的左视图；图3是图1的俯视图；图4是本专利技术立体图。1.底座，1-1.支撑部，2.动力源，3.转轴支架，4.铰支座，5.转轴，6.坩埚，7.液压支柱。具体实施例方式如图1、图2、图3、图4所示，一种多晶硅铸锭用坩埚涂覆机，它包括底座1，底座1 上固定有支撑部1-1，支撑部1-1上端有铰支座4，铰支座4上铰接有转轴支架3，转轴支架 3内穿入转轴5，转轴5与转轴支架3之间装有轴承，所述的转轴5的一端伸出所述的转轴支架3外可拆卸的固定有坩埚6，可采用螺钉、插装或卡合固定，所述的转轴5的另一端连接有动力源2，动力源为电机、小型发动机或手摇曲柄等，可根据实际需要选用；所述的转轴支架3靠近坩埚6的一端与所述的底座1之间装有液压支柱7，液压支柱7的活塞杆端部与所述的转轴支架3铰接，液压支柱7的缸体末端与所述的底座1铰接。所述的坩埚6为有密封盖的方形盒体。所述的支撑部1-1为固定支柱。其工作过程为将坩埚6安装到转轴支架3内的转轴5上，固定坩埚并清理坩埚内壁，准备好后，控制液压支柱7将转轴支架3调整至垂直状态，使坩埚开口朝上；然后将浆料倒入坩埚内，盖上密封盖将坩埚封闭，然后启动动力源或采用人工曲柄摇转使转轴5旋转， 带动坩埚沿垂直轴线勻速旋转，浆料随着坩埚的旋转将坩埚的底部涂覆均勻；旋转一定时间后，使转轴停止，控制液压支柱7将转轴支架3调整至水平状态，使转轴5旋转，带动坩埚沿水平轴线勻速旋转，浆料随着坩埚的旋转将坩埚的侧面涂覆均勻；旋转一定时间后，使转轴停止，将转轴支架3由水平状态向下倾斜3 5度，打开坩埚密封盖，使剩余浆料自动流出；然后将坩埚取下，完成涂覆过程。多晶硅铸锭坩埚涂覆方法实施例(一 )多晶硅铸锭坩埚涂覆方法实施例一，包括如下步骤步骤一、首先布置好可上下转动的转轴支架3，然后将坩埚6安装到转轴支架3内的转轴5上，固定坩埚并清理坩埚内壁，准备好后，用液压支柱7将转轴支架3调整至垂直状态，使坩埚开口朝上；步骤二、将准备好的足量的浆料倒入坩埚内，盖上密封盖将坩埚封闭，然后启动动力装置使转轴5旋转，带动坩埚沿垂直轴线勻速旋转，浆料随着坩埚的旋转将坩埚的底部涂覆均勻；步骤三、旋转45秒后，使转轴停止，用液压支柱7将转轴支架3调整至水平状态， 然后启动动力装置使转轴5旋转，带动坩埚沿水平轴线勻速旋转，浆料随着坩埚的旋转将坩埚的侧面涂覆均勻；步骤四、旋转120秒后，使转轴停止，将转轴支架3由水平状态向下倾斜3度，打开坩埚密封盖，使剩余浆料自动流出；然后调整转轴支架3角度，将坩埚取下，完成涂覆过程。步骤二中，倒入坩埚内的浆料的高度为2厘米。步骤二和步骤三中，所述转轴5的转速为每分钟12转。( 二)多晶硅铸锭坩埚涂覆方法实施例二，包括如下步骤步骤一、首先布置好可上下转动的转轴支架3，然后将坩埚6安装到转轴支架3内的转轴5上，固定坩埚并清理坩埚内壁，准备好后，用液压支柱7将转轴支架3调整至垂直状态，使坩埚开口朝上；步骤二、将准备好的足量的浆料倒入坩埚内，盖上密封盖将坩埚封闭，然后启动动力装置使转轴5旋转，带动坩埚沿垂直轴线勻速旋转，浆料随着坩埚的旋转将坩埚的底部涂覆均勻；步骤三、旋转60秒后，使转轴停止，用液压支柱7将转轴支架3调整至水平状态， 然后启动动力装置使转轴5旋转，带动坩埚沿水平轴线勻速旋转，浆料随着坩埚的旋转将坩埚的侧面涂覆均勻；步骤四、旋转180秒后，使转轴停止，将转轴支架3由水平状态向下倾斜5度，打开坩埚密封盖，使剩余浆料自动流出；然后调整转轴支架3角度，将坩埚取下，完成涂覆过程。步骤二中，倒入坩埚内的浆料的高度为3厘米。步骤二和步骤三中，所述转轴5的转速为每分钟10转。使用本专利技术的，可实现自动或半自动旋转涂覆，取代传统的人工喷涂方式，解决浆料涂覆不勻产生的硅料粘埚等问题，节约时间， 提高生产效率，保证产品质量，减少劳动强度。权利要求1.一种多晶硅铸锭用坩埚涂覆机，其特征在于它包括底座(1)，底座(1)上固定有支撑部(1-1)，支撑部(1-1)上端有铰支座G)，铰支座(4)上铰接有转轴支架(3)，转轴支架 (3)内穿入转轴(5)，转轴(5)与转轴支架(3)之间装有轴承，所述的转轴(5)的一端伸出所述的转轴支架C3)外可拆卸的固定有坩埚(6)，所述的转轴(5)的另一端连接有动力源 (2)；所述的转轴支架C3)靠近坩埚(6)的一端与所述的底座(1)之间装有液压支柱(7)， 液压支柱(7)的一端与所述的转轴支架C3)铰接，液压支柱(7)的另一端与所述的底座(1) 铰接。2.根据权利要求1所述的多晶硅铸锭用坩埚涂覆机，其特征在于所述的坩埚(6)为有密封盖的方形盒体。3.根据权利要求1所述的多晶硅铸锭用坩埚涂覆机，其特征在于所述的支撑部(1-1本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：曹新闻，
申请(专利权)人：曹新闻，
类型：发明
国别省市：