微型拉伸测量组件及其制作方法技术

本发明专利技术公开了一种微型拉伸测量组件及其制作方法。该测量组件包括相互配合的固定平台和移动平台，固定平台一端固定连接第一样品平台，移动平台一端经弹性元件连接一第二样品平台，在测量时样品两端分别与该第一、第二样品平台连接，该第二样品平台上还设有与设于第一样品平台上的第一对中标记配合的第二对中标记和位移标记；其制作方法为：取不锈钢基片进行光刻、图形化处理后，之后进行高温烘烤和电化学刻蚀，即可得到目标产品。本发明专利技术器件结构简单牢固，不易损坏，工艺简便易操作，克服了当前微电铸工艺需采用厚胶工艺及微结构平坦化技术的问题，以及避免了因微电铸缺陷引起力学传感器性能下降的问题，提高了器件对准精度，同时降低了制作成本。

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：李加东，吴东岷，
申请(专利权)人：中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所，
类型：发明
国别省市：