椭圆隔板式喷淋吸收废气处理装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种椭圆隔板式喷淋吸收废气的处理装置，其中喷淋吸收塔的内壁在横截面上呈椭圆形，纵向上有一隔板，该隔板将塔内分成两个处理室，每个室有一喷淋装置，其内充填多密球充填物，所述隔板与塔底部内壁间有一气水相通的通道。所述处理装置还包括经通风管道与风机相通的用于向塔内输入废气的进气口，一个输出处理后废气的排放口，与喷淋装置连接的是喷淋循环装置。本实用新型专利技术的装置具有处理效果好、结构简单、易操作等优点。（*该技术在2010年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】本技术涉及用于电子工业废气处理的椭圆隔板式喷淋吸收废气处理装置。在半导体材料和器件生产过程中将排放大量的废气，这些废气中以砷、磷、硫、氟及氮氧化合物等最多。如果将上述废气任意排放，将会对大气造成严重的污染，其后果难以想象。因此，在电子工业，特别是半导体材料和器件生产过程中对上述的废气的治理是刻不容缓的。治理上述废气都是采用喷淋装置，并力入氧化剂和碱混合物吸收，亦即将各种形态的砷、磷等分别氧化为AsO43-和PO43-等，其中使用的氧化剂为KMnO4或H2O2。在喷淋装置内主要完成的反应为气相的各种酸蒸汽，如H3AsO3,H2SO4,HNO3,HCl,HF等均能与喷淋液中的碱中和成盐，处理后的溶液，排入废水池中统一处理。为实现上述反应，目前国内外的治理设备均为单一圆柱体或双筒串联喷淋塔，这类喷淋塔当气体通过时由于内阻大，处理效果不好，且还存在占地面积大的缺点。另外也有方形的上进气上喷淋的顺流式喷淋塔，它存在有死角，吸收不完全的缺点，因此，效果欠佳。本技术的目的在于提供一种椭圆隔板式喷淋吸收废气处理装置。本技术的上述目的是通过以下解决方案实现的。按照本技术的椭圆隔板式喷淋吸收废气处理装置包本文档来自技高网...

【技术保护点】
椭圆隔板式喷淋吸收废气处理装置，包括一个喷淋吸收塔，塔的上部一侧具有一个进气口，该口经进风管道与风机相通，另一侧有一排风口，塔内上部装有喷淋装置，该装置经连接到塔外的第一管道，循环泵，第二管道和塔下部的引出管形成喷淋循环装置，所述的塔内放有多密球填料，其特征在于所述的塔内壁的横截面呈椭圆形，所述的塔内有一垂直放置的隔板，该板将所述塔的内腔分成两个处理室，每个室内置有一喷淋装置并放有多密球填料，所述的板与所述的喷淋吸收塔底部的内壁之间具有气水相通的通道。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】1．椭圆隔板式喷淋吸收废气处理装置，包括一个喷淋吸收塔，塔的上部一侧具有一个进气口，该口经进风管道与风机相通，另一侧有一排风口，塔内上部装有喷淋装置，该装置经连接到塔外的第一管道，循环泵，第二管道和塔下部的引出管形成喷淋循环装置，所述的塔内放有多密球填料，其特征在于所述的塔内壁的横截面呈椭圆形，所述的塔内有一垂直放置的隔板，该板将所述塔的内腔分成两个处理室，每个室内置有一喷淋装置并放有多密球填料，所述的板与所述的喷淋吸收塔底部的内壁之间具有气水相通的通道。2．根据权利...

【专利技术属性】
技术研发人员：闻瑞梅，黄娴玮，
申请(专利权)人：北京中环康裕环保工程技术有限公司，同济大学，
类型：实用新型
国别省市：11[中国|北京]