一种白光LED外延结构及制作方法、白光LED芯片结构技术

技术编号:7265784 阅读:223 留言:0更新日期:2012-04-14 22:51
本发明专利技术公开了一种白光LED外延结构及制作方法,以及含有该外延结构的白光LED芯片结构。所述外延结构的外延片包括从下至上依次设置的ZnS衬底、GaN过渡层、第一N-GaN接触层、掺杂Si和Zn的In0.2Ga0.8N/GaN多量子阱发光层、第一P-GaN接触层、N-GaN级联层、第二N-GaN接触层、掺杂Si和Zn的In0.49Ga0.51N/GaN多量子阱发光层和第二P-GaN接触层。本发明专利技术的白光LED外延结构及芯片结构不用涂覆荧光粉,因此从根本上摆脱了荧光粉的束缚,发光质量好、显色性好、提高了工作稳定性和使用寿命,减少了封装工序,可以使从白光LED的外延、芯片、封装、应用整个产业链的生产工艺简化,生产效率高,适于大批量生产。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及半导体照明
,具体地说,涉及一种白光LED的外延结构及制作方法以及包含有该外延结构的白光LED芯片结构。
技术介绍
白光LED具有节能、环保、寿命长、可以工作在高速状态等诸多优点,其用途越来越广,政府正大力推广。目前,通常采用蓝光LED激发非透明的黄色荧光粉通过波长转换来制作白光LED,由于蓝光LED持续点亮会造成温度升高,波长转换材料会发生退化,蓝光芯片发出的光通过黄色荧光粉时会发生散射吸收等现象,使得出光效率不高,同时由于黄色荧光粉涂覆厚度的不均勻也会带来黄色光圈、蓝色光斑、白光色温不一致等问题,由此使得用蓝光LED激发黄色荧光粉生产的白光LED显色性差、稳定性差。如何提高现有的白光LED的显色性能和稳定性正成为当今大家最为关心的问题。
技术实现思路
本专利技术所要解决的技术问题是针对上述现状提供一种显色性好、稳定性好的白光LED外延结构及制作方法以及包含有该外延结构的白光LED芯片结构。为解决上述关于白光LED外延结构的技术问题,本专利技术的技术方案是一种白光 LED外延结构,包括外延片,所述外延片包括从下至上依次设置的ZnS衬底、GaN过渡层、第一N-GaN接触层、掺杂Si和加的Intl.2Ga0.8N/GaN多量子阱发光层、第一 P-GaN接触层、N-GaN 级联层、第二 N-GaN接触层、掺杂Si和Si的Ina49GEia 51N/GaN多量子阱发光层和第二 P-GaN 接触层。作为优选,所述ZnS衬底的厚度为50 200um。作为优选,所述GaN过渡层的厚度为10 100 nm。作为优选,所述第一 N-GaN接触层、第二 N-GaN接触层的厚度均为200 1000 nm。作为优选,所述掺杂Si和Si的Ina2Giia8NAiaN多量子阱发光层的厚度为1000 IOOOOnm0作为优选,所述第一 P-GaN接触层、第二 P-GaN接触层的厚度均为80 600nm。作为优选,所述N-GaN级联层的厚度为100 1000 nm。作为优选,所述掺杂Si和Si的La49Giia51NAiaN多量子阱发光层的厚度为1000 IOOOOnm0为解决上述关于白光LED外延结构的制作方法技术问题,本专利技术的技术方案是 一种白光LED外延结构的制作方法,包括生长外延片步骤,所述生长外延片步骤包括(a)将ZnS衬底送入外延炉,在605 615°C生长GaN过渡层,所述GaN过渡层的厚度为 10 100 nm;(b)在所述外延炉内,在1055 1065°C生长第一N-GaN接触层,所述第一 N-GaN接触层的厚度为200 1000 nm;(c)在所述外延炉内,以氮气作保护,在685 695°C生长掺杂Si和Si的Ina2Giia8N/ GaN多量子阱发光层,所述掺杂Si和Si的Ina2Giia8NZGaN多量子阱发光层的厚度为1000 IOOOOnm ;(d)在所述外延炉内,在995 1005°C生长第一P-GaN接触层,所述第一 P-GaN接触层的厚度为80 600nm ;(e)在所述外延炉内,在905 1005°C生长N-GaN级联层,所述N-GaN级联层的厚度为 100 1000 nm ;(f)在所述外延炉内,以氮气作保护,在685 695°C生长掺杂Si和Si的Ina49G^l51N/ GaN多量子阱发光层,所述掺杂Si和Si的Ina49Giia51NZGaN多量子阱发光层的厚度为 1000 IOOOOnm ;(g)在所述外延炉内,在995 1005°C生长第二P-GaN接触层,所述第二 P-GaN接触层的厚度为80 600nm,即制得外延片。为解决上述关于白光LED芯片结构的技术问题,本专利技术的技术方案是一种白光 LED芯片结构,包括以上所述的外延片;在所述外延片的第二 P-GaN接触层上设置有P电极,在第一 N-GaN接触层上设置有N电极。由于采用了上述技术方案,本专利技术的有益效果是由于本专利技术的白光LED外延结构是在同一块ZnS衬底上分别生长同时掺杂Si和Si的Ina2Giia8NAiaN多量子阱发光层和 In0.49Ga0.51N/GaN多量子阱发光层来得到白光。在500 560nm之间,可以得到宽带波长的施主-受主对,Si和Si会发生施主-受主对相关的宽带辐射,而InGaN多量子阱LED发生带边辐射,二者结合就会产生白光。这种掺杂Si和Si的InrGanN-GaN多量子阱LED的场致发光光谱与荧光粉转换得到的白光LED的光谱非常相似。经过测量,其色温为6300K, 色坐标为(0.316,0. 312)。由于本专利技术的白光LED外延结构以及包含有该外延结构的白光 LED芯片结构不用涂覆荧光粉,因此从根本上摆脱了荧光粉的束缚,其发光质量好、显色性好、稳定性好,提高了工作稳定性和使用寿命,减少了封装工序,可以使从白光LED的外延、 芯片、封装、应用整个产业链的生产工艺简化,生产效率高,适于大批量生产。ZnS为纳米级材料,能带隙宽,折射率高、透光率高,采用ZnS作衬底具有优良的荧光效应及电致发光功能。附图说明下面结合附图和实施例对本专利技术进一步说明 图1是本专利技术实施例中的外延结构示意图2是本专利技术实施例中的芯片结构示意图中=I-ZnS衬底;2- GaN过渡层;3-第一N-GaN接触层;4-掺杂Si和Si的Ina2GEia8N/ GaN多量子阱发光层;5-第一 P-GaN接触层;6- N-GaN级联层;7-第二 N-GaN接触层;8-掺杂Si和Zn的In0.49Ga0.51N/GaN多量子阱发光层;9-第二 P-GaN接触层;IO-P电极;11-N电极。具体实施例方式如图1所示,一种白光LED外延结构,包括外延片,所述外延片包括从下至上依次设置的ZnS衬底1、GaN过渡层2、第一 N-GaN接触层3、掺杂Si和Zn的In0.2Ga0.8N/GaN多量子阱发光层4、第一 P-GaN接触层5、N-GaN级联层6、第二 N-GaN接触层7、掺杂Si和Si 的Ina49Giia51NAiaN多量子阱发光层8和第二 P-GaN接触层9。ZnS衬底为纳米级材料,能带隙宽,折射率高、透光率高,具有优良的荧光效应及电致发光功能。其中,所述ZnS衬底1的厚度为50 200um,最好为100 um。其中,所述GaN过渡层2的厚度为10 100 nm,最好为50 nm。其中,所述第一 N-GaN接触层3、第二 N-GaN接触层7的厚度均为200 1000 nm, 最好为500 nm。其中,所述掺杂Si和Si的Ina2Giia8NAiaN多量子阱发光层4的厚度为1000 lOOOOnm,最好为 2000 nm。其中,所述第一 P-GaN接触层5、第二 P-GaN接触层9的厚度均为80 600nm,最好为250 nm。其中,所述N-GaN级联层6的厚度为100 1000 nm,最好为200nm。其中,所述掺杂Si和Si的Ina49Giia51NAiaN多量子阱发光层8的厚度为1000 lOOOOnm,最好为 2000nm。本专利技术的白光LED外延结构的制作方法,包括生长外延片步骤,所述生长外延片步骤如下(a)选择厚度为50 200um,最好为100 um的ZnS衬底1,清洗干净,将ZnS衬底1放在托盘里送入K本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员:李玉芝吉爱华祝菡菡
申请(专利权)人:潍坊广生新能源有限公司
类型:发明
国别省市:

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