本发明专利技术的四输入微机械固支梁热电式微波功率传感器，突破了传统微波功率传感器只能测量单输入内微波功率的限制，实现了四输入微波功率的测量，同时也能够检测其中哪些输入了微波功率及其微波功率大小的比例。该结构在砷化镓衬底上有四个特征阻抗为50Ω的主线CPW，它们彼此对称且相互之间呈90?的角，在每个主线CPW的输出端并联两个100Ω终端匹配电阻，每个终端匹配电阻附近有一个热电偶，将这四对热电偶也成对称放置并串联连接形成热电堆；在每个主线CPW信号线上横跨一个MEMS固支梁，在MEMS固支梁下方有绝缘介质层，其固支梁的锚区分别连接副线CPW信号线，在副线CPW地线上有一个隔直电容，该副线CPW的特征阻抗为50Ω，在每个副线CPW输出端并联两个100Ω的热电偶。
【技术实现步骤摘要】
【技术保护点】
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：廖小平，张志强，
申请(专利权)人：东南大学，
类型：发明
国别省市：
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