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本发明的四输入微机械固支梁热电式微波功率传感器，突破了传统微波功率传感器只能测量单输入内微波功率的限制，实现了四输入微波功率的测量，同时也能够检测其中哪些输入了微波功率及其微波功率大小的比例。该结构在砷化镓衬底上有四个特征阻抗为50Ω的主线...
该专利属于东南大学所有，仅供学习研究参考，未经过东南大学授权不得商用。

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