本发明专利技术提供一种包含用于封闭一内部空间的多个壁板(510)的真空腔(400)，其中该壁板使用多个用于以预定配置对该壁板定位的连接部件(504、524、528)而可卸除地连接以形成腔室。该真空腔另外包含一或多个在该壁板的边缘处提供的密封部件(522)。该壁板经配置，使得因该内部空间形成真空而在该壁板的边缘处形成真空紧密密封。
【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术涉及一种带电粒子光刻设备。本专利技术另外涉及一种在真空腔中产生真空且应用于例如带电粒子多子束光刻或检测系统的方法。本专利技术另外涉及此类光刻设备及支撑真空腔的框架的配置。本专利技术另外涉及此类光刻设备及抽汲系统的配置。2、现有技术说明带电粒子及光光刻机及检测机典型地在真空环境中操作。此需要真空腔足够大以放置光刻机或机器组。真空腔必须足够坚固且真空紧密以支撑所需真空，同时具有开口以供电学、光学及电力电缆进入腔室，在腔室中装载晶圆或靶材及使得可接近机器以供维修及操作需要。在涉及带电粒子机的情况下，真空腔亦必须提供屏蔽以防止外部电磁场干扰机器的操作。先前真空腔设计具有各种缺点，诸如相对于光刻机的处理量过重，过量使用占地面积，门尺寸小及开口周围电磁屏蔽不良。先前设计需要在工厂中进行昂贵且耗时的制造制程，此制程通常在运往腔室的使用地点前需要完全装配腔室，且自工厂至其使用地点的运输成本通常较高。
技术实现思路
本专利技术的目的在于提供一种解决先前设计的缺陷的改良真空腔。根据本专利技术的一个方面，真空腔包含封闭内部空间的多个壁板。所述壁板使用多个连接部件进行装配以形成腔室，所述连接部件以预定配置对壁板定位。真空腔另外包含一或多个在壁板边缘处提供的密封部件，且壁板经配置使得因内部空间中形成真空而在壁板的边缘处形成真空紧密密封。连接部件可经调适成可卸除连接壁板及使得可拆卸。连接部件优选经调适成对壁板定位，同时使壁板在小的预定范围内移动。连接部件可经调适成对壁板定位，同时在内部空间中形成真空时允许壁板移动且抵靠密封部件更紧密密封。连接部件可经设计以对壁板定位而在壁板边缘处未提供真空紧密密封，且可经设计以将壁板定位于在壁板边缘处提供接近真空的紧密密封的位置，及/或可经设计以朝向在壁板边缘处提供真空紧密密封的位置引导壁板。壁板边缘处的真空紧密密封可藉由操作与内部空间连接的抽吸装置来实现，该抽吸装置的排气(air displacement)量充分大于经由接近真空的紧密密封进入内部空间中的空气的流速以在内部空间中产生真空。真空腔可经建构为具有全支撑框架，其中壁板与该框架连接以封闭内部空间，或具有全支撑壁板且无框架或仅在初始装配期间具有支撑框架，或此类设计的混合形式。具有全支撑框架的真空腔包含框架，其中壁板与该框架连接且由该框架支撑，壁板抵靠框架密封以提供真空紧密密封。具有全支撑壁板的真空腔包含边缘处彼此连锁且彼此抵靠密封的壁板以形成真空紧密结构。框架可完全省略，或可使用足以在装配期间对壁提供支撑的框架。混合形式包含提供一些支撑的框架及提供一些支撑的壁板，壁板抵靠框架密封，且壁板亦彼此建立界面连接且彼此抵靠密封。所有此类设计均可使用高度模组化设计，其使得制造前置时间缩短，例如为四周或更短。框架可由独立框架部件及转角组件建构且当场装配，且壁板可制造为用于当场装配的独立单元。此设计允许制造较大体积的标准化尺寸的独立组件，从而减少制造成本。其亦使得真空腔可经拆卸以“扁平包装”套件(kit set)形式运送，从而降低自工厂运输至腔室使用地点的成本。真空腔可经设计用于封闭小体积。对于一些应用(例如带电粒子光刻机)的适合尺寸，ImX ImX Im的内部空间可为适合的。真空腔优选能够保持至少10_3毫巴且优选10_6毫巴的压力。真空腔可包括壁与壁的连接。壁板优选使用连接部件彼此可卸除连接。一或多个壁板可包含连锁区以与一或多个其他壁板连锁，阻止壁板在内部空间中所形成的真空的影响下移动。真空紧密密封优选藉由在腔室内部空间中形成真空时施加于壁板上的力在壁板之间形成。壁板亦可具有阶梯状边缘以提供壁板之间的连锁。两个壁板的阶梯状边缘可形成连锁配置，其中针对第一壁板的外表面所施加的力使第一壁板抵靠第二壁板的阶梯状边缘更紧密密封，且针对第二壁板的外表面所施加的力使第二壁板抵靠第一壁板的阶梯状边缘更紧密密封。可在壁板的相对阶梯状边缘之间应用粘着剂，且可使用连接部件对壁板定位。 连接部件可能仅穿透壁板的一部分厚度且可能包含销或螺栓。可在两个壁板的倾斜边缘间插入条状部件，各壁板的倾斜边缘抵靠条状部件的相对表面形成密封。可在各壁板的倾斜边缘与条状部件的相对表面间安置0形环，且可使用连接部件连接壁板与条状部件。可在各壁板的倾斜边缘与条状部件的相对表面之间使用粘着剂。对于包括有框架的真空腔设计，壁板可使用连接部件可卸除地与框架连接，且可在壁板与框架之间提供一或多个密封部件以在壁板与框架之间形成真空紧密密封。框架可能包括连锁区以与一或多个壁板连锁，阻止壁板或框架在内部空间中所形成的真空的影响下移动。壁板及框架优选经配置使得当内部空间中形成真空时，壁板及框架部件更紧密连锁以提高真空腔的刚性及/或产生真空紧密密封。真空腔的框架可能包含多个互连框架部件，所述框架部件由连接部件连接。一或多个框架部件可在末端区包含一或多个凹口以与另一框架部件的末端区连锁。至少一个框架部件的横截面轮廓可具有容纳一个壁板的边缘的切去部分。至少一个框架部件的横截面轮廓可具有两个切去部分，第一切去部分用于容纳第一壁板的边缘且第二切去部分用于容纳第二壁板的边缘。框架部件可与第一及第二壁板形成连锁配置，其中针对第一壁板的外表面所施加的力使第一壁板抵靠框架部件的第一切去部分更紧密密封，且框架部件的第二切去部分抵靠第二壁板的末端推压。框架部件及壁板可能形成连锁配置，其中真空腔中的较低压力使得针对第一壁板的外表面所施加的第一力在推压第一壁板使其更紧密抵靠框架部件的第一切去部分的方向上作用，且针对第二壁板的外表面所施加的第二力在推压第二壁板使其更紧密抵靠框架部件的第二切去部分的方向上作用。框架部件可包含凹口或孔以容纳用于连接其他框架部件的固定部件，且框架部件中的凹口或孔可在装配真空腔之前预先钻凿且经堵塞，其中螺栓或销从腔室内部延伸至凹口或孔中。所述凹口或孔可沿一或多个框架部件在标准化位置预先钻凿。真空腔可包括具有多个互连框架部件及在框架转角处的多个转角组件的框架，所述转角组件连接框架部件。可使用密封部件密封框架部件与转角组件之间的连接，且可使用连接部件连接框架部件与转角组件。可使用连接部件连接框架部件与壁板，且连接部件包含销或螺栓或闩或铰链。用于真空腔的密封部件可包括壁板与框架部件之间的密封部件，其中壁板经配置使得当真空腔的内部空间中形成真空时壁板经推压更紧密抵靠密封部件。可在壁板之间提供条状部件，且壁板经配置使得当真空腔的内部空间中形成真空时壁板经推压更紧密抵靠条状部件。可在相邻壁板之间安置一或多个密封部件，且所述密封部件可包含0形环或C形环或铜或铟，或其可能包含含有真空润滑油、聚四氟乙烯或胶中至少一的密封剂。真空腔可包含框架及一或多个胶粘至框架的壁板。密封部件可包含经调适以用于密封一或多个壁板的多个边缘处的空隙的单一可挠性密封材料件，且该单一可挠性密封材料件可包含12个经调适以用于密封6个壁板的多个边缘处的空隙的伸长部分。壁板可具有凹槽以部分容纳该一或多个密封部件，且若真空腔包含框架，则框架可具有凹槽以部分容纳该一或多个密封部件。真空腔可具有至少一个经由铰链配置与框架连接的壁板，该铰链配置在铰链中具有间隙以使壁板向内移动且提供抵靠框架的真空紧密密封。至少一个壁板可经由铰链配置与框架连接，其中铰接的壁板包含形成腔本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...
【专利技术属性】
技术研发人员：S巴尔图森，G德波尔，HM马金克，TF提彭，
申请(专利权)人：迈普尔平版印刷IP有限公司，
类型：发明
国别省市：
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