一种采用二段分离方式的废砂浆在线回收设备，包括一号分离机，二号分离机，新砂浆罐，调试砂浆罐，一次分离液罐，废砂浆罐，再生砂浆罐，分离废弃物罐，二次分离液罐；其中：一号分离机同时与调试砂浆罐、一次分离液罐和废砂浆罐连通，二号分离机同时与一次分离液罐、分离废弃物罐和二次分离液罐连通，调试砂浆罐和二次分离液罐连通，调试砂浆罐和再生砂浆罐连通，用户切片机分别与废砂浆罐和再生砂浆罐连通。本实用新型专利技术的优点：用于分离和回收硅片切割工艺中所产生的废砂浆，同时亦适用于半导体芯片、水晶、钻石等行业的废液回收利用。硅片切割废液中，PEG、SiC的回收率可达80%以上，有效地避免了浪费，降低了企业的生产成本。（*该技术在2021年保护过期，可自由使用*）
【技术实现步骤摘要】
本技术涉及切割液回收设备领域，特别涉及了一种采用二段分离方式的废砂浆在线回收设备。
技术介绍
目前，硅片线切割工艺的现状，为了保证切割质量，切割工艺中使用的砂浆基本都是极少的重复使用，切割使用后的废弃砂浆直接作为工业废弃物堆积处理，或者委托专业处理厂对使用过的砂浆进行处理，无论以上那种方式，都会造成极大浪费，产生较大成本， 因此，实现砂浆的回收再利用是硅片生产企业降低生产成本的有效途径，需要合理的设备。
技术实现思路
本技术的目的是为了最大程度上避免浪费，使切割液回收再利用，特提供了一种采用二段分离方式的废砂浆在线回收设备。本技术提供了一种采用二段分离方式的废砂浆在线回收设备，其特征在于 所述的采用二段分离方式的废砂浆在线回收设备包括一号分离机1，二号分离机2，新砂浆罐3，调试砂浆罐4，一次分离液罐5，废砂浆罐6，再生砂浆罐7，分离废弃物罐8，二次分离液罐9 ；其中一号分离机1同时与调试砂浆罐4、一次分离液罐5和废砂浆罐6连通，二号分离机2同时与一次分离液罐5、分离废弃物罐8和二次分离液罐9连通，调试砂浆罐4 和二次分离液罐9连通，调试砂浆罐4和再生砂浆罐7连通，用户切片机10分别与废砂浆罐6和再生砂浆罐7连通。所述的一号分离机1和二号分离机2为卧式螺旋沉降离心机。工作原理切片机产生的废旧砂浆，经一号分离机1的分离后，形成一次分离液和回收的粗粉；一次分离液经二号分离机2的分离后，产生回收的液相和回收固相，对回收固相进行再处理；一次分离产生回收的粗粉，与新配置的砂浆、二次分离后产生回收的液相三者混合处理，形成新的可利用的砂浆，用于切片机使用。本技术的优点本技术所述的采用二段分离方式的废砂浆在线回收设备，用于分离和回收硅片切割工艺中所产生的废砂浆，同时亦适用于半导体芯片、水晶、钻石等行业的废液回收利用。硅片切割废液中，PEG、SiC的回收率可达80%以上，硅片切割废砂浆在线回收设备与线切割机可采用1 :4或1 :5配置。有效地避免了浪费，降低了企业的生产成本。以下结合附图及实施方式对本技术作进一步详细的说明附图说明图1为采用二段分离方式的废砂浆在线回收设备原理结构示意图。具体实施方式实施例1本实施例提供了一种采用二段分离方式的废砂浆在线回收设备，其特征在于所述的采用二段分离方式的废砂浆在线回收设备包括一号分离机1，二号分离机2，新砂浆罐 3，调试砂浆罐4，一次分离液罐5，废砂浆罐6，再生砂浆罐7，分离废弃物罐8，二次分离液罐 9 ；其中一号分离机1同时与调试砂浆罐4、一次分离液罐5和废砂浆罐6连通，二号分离机2同时与一次分离液罐5、分离废弃物罐8和二次分离液罐9连通，调试砂浆罐4 和二次分离液罐9连通，调试砂浆罐4和再生砂浆罐7连通，用户切片机10分别与废砂浆罐6和再生砂浆罐7连通。所述的一号分离机1和二号分离机2为卧式螺旋沉降离心机。工作原理切片机产生的废旧砂浆，经一号分离机1的分离后，形成一次分离液和回收的粗粉；一次分离液经二号分离机2的分离后，产生回收的液相和回收固相，对回收固相进行再处理；一次分离产生回收的粗粉，与新配置的砂浆、二次分离后产生回收的液相三者混合处理，形成新的可利用的砂浆，用于切片机使用。权利要求1.一种采用二段分离方式的废砂浆在线回收设备，其特征在于所述的采用二段分离方式的废砂浆在线回收设备包括一号分离机(1)，二号分离机(2)，新砂浆罐(3)，调试砂浆罐(4)，一次分离液罐(5)，废砂浆罐(6)，再生砂浆罐(7)，分离废弃物罐(8)，二次分离液罐(9)；其中一号分离机(1)同时与调试砂浆罐(4)、一次分离液罐(5)和废砂浆罐(6)连通， 二号分离机(2)同时与一次分离液罐(5)、分离废弃物罐(8)和二次分离液罐(9)连通，调试砂浆罐(4)和二次分离液罐(9)连通，调试砂浆罐(4)和再生砂浆罐(7)连通，用户切片机(10)分别与废砂浆罐(6)和再生砂浆罐(7)连通。2.按照权利要求1所述的采用二段分离方式的废砂浆在线回收设备，其特征在于所述的一号分离机(1)和二号分离机(2)为卧式螺旋沉降离心机。专利摘要一种采用二段分离方式的废砂浆在线回收设备，包括一号分离机，二号分离机，新砂浆罐，调试砂浆罐，一次分离液罐，废砂浆罐，再生砂浆罐，分离废弃物罐，二次分离液罐；其中一号分离机同时与调试砂浆罐、一次分离液罐和废砂浆罐连通，二号分离机同时与一次分离液罐、分离废弃物罐和二次分离液罐连通，调试砂浆罐和二次分离液罐连通，调试砂浆罐和再生砂浆罐连通，用户切片机分别与废砂浆罐和再生砂浆罐连通。本技术的优点用于分离和回收硅片切割工艺中所产生的废砂浆，同时亦适用于半导体芯片、水晶、钻石等行业的废液回收利用。硅片切割废液中，PEG、SiC的回收率可达80%以上，有效地避免了浪费，降低了企业的生产成本。文档编号C10M175/00GK202181292SQ201120294740公开日2012年4月4日 申请日期2011年8月15日 优先权日2011年8月15日专利技术者张磊, 韩东 申请人:沈阳光远新能源科技有限公司本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：张磊，韩东，
申请(专利权)人：沈阳光远新能源科技有限公司，
类型：实用新型
国别省市：
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