红外线吸收式气体分析计制造技术

将红外线吸收式气体分析计使用于SO2的检测目的时，检测器的室内的SO2和流量传感器的元件的Ni反应，产生流量传感器元件断线的问题。因此，本发明专利技术的目的在于提供一种防止流量传感器的Ni元件的腐蚀，延长流量传感器的耐用期间的红外线吸收式气体分析计。推定出在Ni元件的正常部侧面仅表面附着有NiSO4，在腐蚀部NiS2生成到其深部。因此，Ni被SO2硫化而生成NiS2时，Ni被腐蚀到深部而造成断线，但即使Ni与SO2反应，如果作为NiSO4仅停留在表面而不发展到深部的话，就不会产生断线的问题。又，可知Ni在100℃以下作为NiSO4存在，在100℃以上则生成NiS2。因此，通过将流量传感器的电阻金属箔23、24的温度设定在100℃以下，可以防止NiS2的生成。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种红外线吸收式气体分析计，其利用红外活性的被测定成分气体的伴随着红外线光谱吸收的气压变动测量特定种类气体的浓度。现有技术气体成分的定量分析所使用的流量传感器将电阻的温度系数大的感温电阻金属箔前后配置在气流中，桥接这些感温电阻金属箔，根据这些金属箔的电阻变化进行气流中的气体成分的定量分析。以往的非分散红外分析计所使用的流量传感器是在传感器芯片的表里两表面且在气流中配置电阻的温度系数大的梳型电阻体，通过利用桥接电路检测从气流授受热所产生的表里两面的梳型电阻体的电阻值的偏离，来检测该气流，进行气流中的气体成分的定量分析。如专利文献1所示，梳型电阻体中使用的是镍(Ni)等电阻的温度系数大的金属。并且，流量传感器被设置在铝等金属制造的室内，室内分为前室和后室，但无论哪个室的室内都填充有被测定成分气体。例如，进行二氧化硫(SO2)的检测时，填充SO2，但这时，与100%填充SA相比，以氩气(Ar)等惰性气体稀释的方法更能够提高检测灵敏度，因此，填充气体是Sh和Ar等的混合气体。现有技术文献专利文献专利文献1 日本特开2003-097988号公报专利技术内容专利技术要解决的问本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：田边亮，肥山道行，
申请(专利权)人：株式会社岛津制作所，
类型：发明
国别省市：