【技术实现步骤摘要】
本技术提供一种全过滤风机组,特别是指一种粉尘与气态污染的全过滤风机组。附图说明图1显示习用的一个过滤风机组1,用于需超洁净空调的制程如半导体,目前过滤及温控的洁净空气从过滤风机组上方的进风口2流入,经一送风机3、流向控制板4及一超细高效率过滤器5后,可将空气中的粉尘浓度控制在每立方公尺35尘粒(以0.5μm为基准)以下,并以近垂直方向流出,提供制程所需的超洁净空气。新一代的半导体制程除了粉尘浓度外,尚需控制气态污染如氨气及酸性气体至ppb或ppt的超微量,如美国(SEMATECH的95052812-TR)的建议,对于0.25μm以下的某部分制程,酸性气体的浓度应控制在5ppt。因应此需求,已有洁净空调用化学过滤设备(chemical filtration),先将空气中的气态污染过滤。一般化学过滤的设计如图2所示,将化学过滤材装在一箱体6,空气流通的过程中,气态污染物附着于化学过滤材而被去除。常用的化学过滤设计如图2所示,可用网架7将化学过滤材装置于内,而多个网架组成多个三角形的布置,增加空气流过的面积以增进效率。化学过滤材8的基材为一种吸附剂,具有去除空气中挥发性气体(VOC)的功能,再利用涂布于吸附剂上的化学(如KMnO4等)中和酸或碱气体,处理酸性或碱性气体需涂布不同的化学。化学过滤如应用于既设洁净空调系统,因其为一箱体,需作许多空间使用或布置上的修改,会致使因空间不足或布置问题而不易使用或增加很大的应用成本。并且,其设计方式为集中处理,较难将有或无气态污染的送风区分,增加设置与应用的成本。本技术的目的在于,提供一种粉尘与气态污染全过滤风机组,其可将气态 ...
【技术保护点】
一种粉尘与气态污染全过滤风机组,其中包括:一送风机,安装于一壳体中,在送风机的后部固定有流向控制板;一超细高效率过滤器,安装于送风机的后部;其特征在于,其中还包括有:一气态污染过滤器,安装于送风机的前端。
【技术特征摘要】
1.一种粉尘与气态污染全过滤风机组,其中包括一送风机,安装于一壳体中,在送风机的后部固定有流向控制板;一超细高效率过滤器,安装于送风机的后部;其特征在于,其中还包括有一气态污染过滤器,安装于送风机的前端。2.根据权利要求1所述的粉尘与气态污染全过滤风机组,其特征在于,其中该气态污染过滤器的大小至少涵盖进风口...
【专利技术属性】
技术研发人员:郑石治,
申请(专利权)人:华懋科技股份有限公司,
类型:实用新型
国别省市:71[中国|台湾]
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