一种安全的小流量气体纯化装置制造方法及图纸

一种安全的小流量气体纯化装置，属气体提纯（纯化）领域。包括设置有一进气端和一出气端的容器，容器内装载有吸附剂，其所述的容器为一长度／内径比大于２５的金属管；所述金属管的两端，设置变径式接头；在变径式接头和管道的端口之间设置多孔材料过滤片；在两端多孔材料过滤片之间的金属管中，填充气体吸附剂；其中，在进气端部分的管段内填充颗粒状气体吸附剂，在出气端的管段内填充粉末状气体吸附剂；在金属管的中间部分区域，设置有受温度控制电路控制的加温部件。本气体纯化装置的制造方法简单，能够耐受较高的源气杂质浓度而不会带来安全隐患，适用于各种小流量的气体纯化领域。（*该技术在2017年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及气体提纯(纯化)领域。具体地说，涉及一种可以在较高的杂质 浓度下利用吸气剂安全地去除气体中的包括水、氧、甲垸、轻质烃、 一氧化碳或二氧 化碳在内的杂质气体的气体纯化装置。
技术介绍
本技术所说的小流量指气体的流量小于等于每分钟5标准升。所说的较高的杂质浓度指气体中的杂质体积含有比率高于十万分之一但小于千分之一。. 在化学工业及电子工业的很多工艺中大量使用超高纯度(指气体中的杂质气体被去除后的体积含有比率在10ppb(ppb为十亿分之一))及其以下的各种气体，如氮气， 氦气，氩气，氢气等。此时，上述惰性气体中通常含有的氧、 一氧化碳、二氧化碳、 甲烷及轻质烃、水等杂质因其化学性而使所述气体无法适用于高工艺性的要求。因此 要对超高纯度气体中的各种杂质进行监测分析。目前对超高纯度气体中的杂质进行分 析的方法多为比较测量法，即将被分析气体样品与一个杂质含量极低的标准气体样品 进行比较。例如常用的气相色谱仪就是将纯度高于被分析气体的载气和被分析的样品 气体轮流进样到仪器中，以载气的结果为基准零点，测量样品气体中各个杂质峰的高 度来确定其浓度。为了保证气体分析的准确性， 一般要求标准本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种安全的小流量气体纯化装置，包括设置有一进气端（６）和一出气端（７）的容器，容器内装载有吸附剂，其特征是：　　　　所述的容器为一长度／内径比大于２５的金属管（１）；　　　　所述金属管的两端，设置变径式接头（２）；　　　　在变径式接头和管道的端口之间设置多孔材料过滤片（３）；　　　　在两端多孔材料过滤片之间的金属管中，填充气体吸附剂；　　　　其中，在进气端部分的管段内填充颗粒状气体吸附剂（４），在出气端的管段内填充粉末状气体吸附剂（５）；　　　　在金属管的中间部分区域，设置有受温度控制电路（９）控制的加温部件（８），该区域为加温区域。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：江晓松，
申请(专利权)人：先普半导体技术上海有限公司，
类型：实用新型
国别省市：31[中国|上海]