小型气体纯化装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种小型气体纯化装置，其技术方案要点是所述支架包括向罐体的两侧滑移连接的左支架和右支架，罐体包括与左支架连接的左罐体和与右支架连接的右罐体，左罐体和右罐体之间设有用于固定二者的锁紧组件，达到了便于清理维护的效果。

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及一种化学纯化
，特别涉及一种小型气体纯化装置。
技术介绍
半导体工业中，经常需要氢气、氮气、惰性气体( 氦、氖、氩、氪、氙)、还原性气体( 砷化氢、磷化氢、氨气、硅化氢等)，并且需要这些气体具有“超高纯度”，尤其是需要具有极低级含量的氧气、水、二氧化碳、一氧化碳等杂质。传统的气体纯化装置，包括用于进行纯化的罐体和支撑罐体的支架，气体的纯化通常是用铝、镁、锆等“活泼金属”担当吸气剂。为了便于设备的运输和使用，市场上出现了比传统的气体纯化装置体型更小的气体纯化装置，称之为小型气体纯化装置。当氢气、氮气、惰性气体( 氦、氖、氩、氪、氙)、还原性气体( 砷化氢、磷化氢、氨气、硅化氢等) 通过这些活泼金属时，其中的氧气、水、二氧化碳、一氧化碳被这些活泼金属吸收，气体得到纯化。然而这些活泼金属都是固体，当固体的表面吸收含氧元素后，变成金属氧化物，在金属表面结成一层“壳”，这一层“壳”阻碍了固体内部的金属进一步吸收。现有的罐体都是密闭的，不方便工人对其内部进行清理，若不及时对其进行清理，将严重影响小型气体纯化装置的气体纯化效果与使用寿命。
技术实现思路
本技术的目的是提供一种便于清理维护的小型气体纯化装置。本技术的上述技术目的是通过以下技术方案得以实现的：一种小型气体纯化装置，包括支架和罐体，其特征在于：所述支架包括向罐体的两侧滑移连接的左支架和右支架，罐体包括与左支架连接的左罐体和与右支架连接的右罐体，左罐体和右罐体之间设有用于固定二者的锁紧组件。通过上述技术方案，罐体设置为左罐体和右罐体分置的方式，解决了罐体内部无法进行清理的问题，左罐体和右罐体通过锁紧组件固定连接，达到密封罐体的效果。工人通过操作锁紧组件来控制左罐体和右罐体的闭合，以便对罐体内部结构进行清理和维修。较佳的，所述做左支架和右支架之间设有用于调节二者之间距离的调节组件。通过上述技术方案，工人打开固定组件后，左罐体和右罐体虽然已经没有固定连接，但是左罐体和右罐体还是处于贴合在一起的状态，若要将左罐体和右罐体分开，工人还需施加体力将二者连通机架进行搬运，调节组件按照设定将左罐体和右罐体分开定量的距离，减轻了工人的体力负担。较佳的，所述调节组件包括电动推杆，电动推杆一端与左支架固定连接，另一端与右支架固定连接并固接有用于驱动电动推杆伸缩的驱动件。通过上述技术方案，电动推杆可以在一定范围行程内做往返运动，用电动推杆作为调节组件的执行机构不仅可以减少采用气动执行机构所需的气源装置和辅助设备，也可以减少小型气体纯化装置整个设备的重量，使得小型气体纯化装置更加小巧轻便。较佳的，所述左支架与右支架设有用于引导二者滑移滑移方向的引导机构。通过上述技术方案，引导机构的设置使得左罐体和右罐体相对滑移时滑移方向不发生偏离，保证滑移的稳定性。较佳的，所述左罐体边缘设有第一凸台，右罐体边缘设有第二凸台，第一凸台和第二凸台上相对设置螺纹孔，所述锁紧组件为螺纹孔和螺纹孔内螺纹连接有的螺栓。通过上述技术方案，左罐体和右罐体合并在一起时没有漏在外面的可连接处，第一凸台和第二凸台均与壳体一体成型，加工成型方便且成本较低，为锁紧组件提供了安装位置，且便于拆卸安装；通过螺纹连接将左罐体和右罐体锁紧，螺栓的制造、使用简单,联接可靠、使用方便、通用性好，且螺纹连接可以获得很大的连接力，拆装方便可靠，可以将第一凸台和第二凸台紧密贴合连接，并能够承受一定的动载荷，使二者具备足够的压紧力，确保左壳体和右壳体被可靠的连接，设备可以正常的工作。较佳的，所述锁紧组件包括固设在左罐体上的锁钩、转动连接在右罐体上的锁把，锁把上转动连接有锁环，锁环与锁钩配合实现左罐体和右罐体的固定连接。通过上述技术方案，使得左罐体和右罐体的拆卸会更加快速方便，相比通过螺栓连接时需要把螺栓完全旋处螺纹孔，锁钩、锁把和锁环不会因为拆卸而脱离壳体，仅仅需要拨动锁环即可，不会因为拆卸而丢失零件，也进一步加快了工人的工作效率。较佳的，所述左罐体和右罐体之间设有密封垫。通过上述技术方案，密封垫可以进一步加强罐体的密封性，填补左罐体和右罐体之间的空隙，保证小型气体纯化装置在工作时，纯化的气体不会通过罐体泄露。较佳的，所述左支架底部滚动连接有滚轮，右支架底部固接有支撑脚。通过上述技术方案，左罐体与右罐体的分离是通过对二者施加相反方向的力实现的，给左支架底部设有滚轮，减轻了左支架底部与地面的摩擦力，可以用更小的力达到分离罐体的效果；右支架底部的支撑脚让左罐体轻松的相对固定的右罐体产生定量的滑移，保证整个设备保持相对的稳定。较佳的所述罐体外壁上设有薄膜，薄膜的边缘与左罐体固定连接，与右罐体可拆卸固定连接通过上述技术方案，薄膜贴合在左罐体和右罐体上，即覆盖了连接处的缝隙，相当于在罐体外部加设了一层密封，进一步的提高了罐体的整体密封性；当左罐体和右罐体分离时，薄膜固定在左罐体上，随着左罐体离开右罐体，不会因罐体的分离而丢失。较佳的，所述薄膜上设有皱褶。通过上述技术方案，皱褶起到了警示和缓冲的作用，若罐体产生泄露，泄露出的气体不会马上排到工厂室内，而是充满皱褶，这个充满皱褶的时间就给泄露一个缓冲的时间，给工人留有处理泄露事件的余地，另一方面，当皱褶被充盈会凸出薄膜水平的表面，对工人起到非常明显的警示作用，当工人看到皱褶略微鼓起时，可以马上采取相应的救急措施，保证了生产的及时且正常的进行，便于日常维护。综上所述，本技术具有以下有益效果：调节组件不仅起到了分离左罐体和右罐体的作用，调节组件在左罐体和右罐体密封配合时，还起到了连接作用，保证支架和罐体的整体性，也起到了锁紧的作用。附图说明图1是实施例1中小型气体纯化装置的外形结构示意图；图2是实施例1中为了体现薄膜结构的局部放大示意图；图3是实施例1中罐体分离状态下的爆炸示意图；图4是实施例1中为了体现支架及其内部结构调节组件的爆炸示意图；图5是实施例2中小型气体纯化装置的结构示意图；图6是实施例2中为了体现锁紧组件结构的局部放大示意图。图中，1、支架；11、左支架；12、右支架；13、隔板；2、罐体；21、左罐体；211、第一凸台；212、进气管；213、台阶；22、右罐体；221、第二凸台；222、出气管；3、锁紧组件；31、螺纹孔；32、螺栓；33、锁钩；34、锁把；35、锁环；4、调节组件；41、电动推杆；42、驱动件；5、引导机构；51、引导杆；52、引导套；6、密封垫；7、滚轮；8、支撑脚；9、薄膜；91、皱褶。具体实施方式以下结合附图对本技术作进一步详细说明。其中相同的零部件用相同的附图标记表示。需要说明的是，下面描述中使用的词语“前”、“后”、“左”、“右”、“上”和“下”指的是附图中的方向，词语“底面”和“顶面”、“内”和“外”分别指的是朝向或远离特定部件几何中心的方向。实施例1：一种小型气体纯化装置，如图1所示，包括一个与地面相连的正方体的框型支架1，支架1被一个水平固定放置的隔板13分为上层和下层，隔板13的放置的高度为支架1整体高度的三分一处，隔板13上表面固定放置一个圆柱形的罐体2，罐体2的直径与支架1相适配，罐体2侧壁与支架1边缘相切，罐体2不会在上层内产生晃动。罐体2的顶面连接有进气管212和出气管222。以罐体2的中心轴为中本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种小型气体纯化装置，包括支架（1）和罐体（2），其特征在于：所述支架（1）包括向罐体（2）的两侧滑移连接的左支架（11）和右支架（12），罐体（2）包括与左支架（11）连接的左罐体（21）和与右支架（12）连接的右罐体（22），左罐体（21）和右罐体（22）之间设有用于固定二者的锁紧组件（3）。

【技术特征摘要】
1.一种小型气体纯化装置，包括支架（1）和罐体（2），其特征在于：所述支架（1）包括向罐体（2）的两侧滑移连接的左支架（11）和右支架（12），罐体（2）包括与左支架（11）连接的左罐体（21）和与右支架（12）连接的右罐体（22），左罐体（21）和右罐体（22）之间设有用于固定二者的锁紧组件（3）。2.根据权利要求1所述的小型气体纯化装置，其特征在于：所述左支架（11）和右支架（12）之间设有用于调节二者之间距离的调节组件（4）。3.根据权利要求2所述的小型气体纯化装置，其特征在于；所述调节组件（4）包括电动推杆（41），电动推杆（41）一端与左支架（11）固定连接，另一端与右支架（12）固定连接并固接有用于驱动电动推杆（41）伸缩的驱动件（42）。4.根据权利要求1所述的小型气体纯化装置，其特征在于：所述左支架（11）与右支架（12）设有用于引导二者滑移滑移方向的引导机构（5）。5.根据权利要求1所述的小型气体纯化装置，其特征在于：所述左罐体（21）边缘设有第一凸台（211），右罐体(22)边缘设有第二凸台...

【专利技术属性】
技术研发人员：汤萍，王新鹏，赵沙沙，邸士强，
申请(专利权)人：绿菱电子材料天津有限公司，
类型：新型
国别省市：天津;12