本实用新型专利技术提供了一种六氟丁二烯的高效脱酸处理装置，包括第一钢瓶、脱酸塔、第二钢瓶，所述第一钢瓶通过进气管道与脱酸塔连接，脱酸塔通过出气管道与第二钢瓶连接；第一钢瓶上设有钢瓶加热装置；脱酸塔内设有脱酸装置，脱酸塔的底部设有出液管，脱酸塔的顶部设有进液管，出液管与进液管之间设有循环水泵，脱酸塔上设有第一温控装置；第二钢瓶上设有第二温控装置和冷凝装置。本实用新型专利技术所述的一种六氟丁二烯的高效脱酸处理装置，脱酸装置中的通液管有喷头，可实现液体的均匀分散，螺旋筛板对气体流向形成湍流干扰，增加六氟丁二烯的脱酸效率，进而降低六氟丁二烯的酸度。进而降低六氟丁二烯的酸度。进而降低六氟丁二烯的酸度。
【技术实现步骤摘要】
一种六氟丁二烯的高效脱酸处理装置
[0001]本技术属于六氟丁二烯提纯领域，尤其是涉及一种六氟丁二烯的高效脱酸处理装置。
技术介绍
[0002]电子特气是芯片制造的基础材料，芯片制造的所有环节，几乎都会用到气体，也被称为芯片制造的血液。所以电子特气也是制约集成电路发展的核心材料。近几年来，随着集成电路产业的迅速发展，对电子特气纯度以及环保要求越来越高。六氟丁二烯因良好的氟碳比，能够刻蚀出高深宽比和几近垂直的侧墙，同时又因其良好的环保性能，是传统含氟电子特气的最佳取代品之一，在芯片14nm、10nm甚至7nm等线宽工艺中作为高精度刻蚀剂。
[0003]刻蚀过程中，杂质对芯片良率有极大的影响，因此对于六氟丁二烯的纯度要求也很苛刻。六氟丁二烯的沸点为6℃，在低温条件下，很容易液化，且在六氟丁二烯的合成过程中会伴随着酸的产生，若六氟丁二烯的酸度过高，导致芯片良率受损。
技术实现思路
[0004]有鉴于此，本技术旨在提出一种六氟丁二烯的高效脱酸处理装置，以解决六氟丁二烯的酸度过高的问题。
[0005]为达到上述目的，本技术的技术方案是这样实现的：
[0006]一种六氟丁二烯的高效脱酸处理装置，包括第一钢瓶、脱酸塔、第二钢瓶，所述第一钢瓶通过进气管道与脱酸塔连接，脱酸塔通过出气管道与第二钢瓶连接；第一钢瓶上设有钢瓶加热装置；
[0007]脱酸塔内设有脱酸装置，脱酸塔的底部设有出液管，脱酸塔的顶部设有进液管，出液管与进液管之间设有循环水泵，脱酸塔上设有第一温控装置；
[0008]第二钢瓶上设有第二温控装置和冷凝装置。
[0009]进一步的，所述脱酸装置包括上挡板、下挡板、若干个通液管，所述上挡板和下挡板从上到下固定设置再脱酸塔的内部，若干个通液管设置在上挡板和下挡板之间，通液管上设有若干个均匀分布的喷头。
[0010]进一步的，通液管上设有均匀分布的若干个倾斜隔板，倾斜隔板上设有若干个网孔，本装置通过倾斜隔板能够有效使气体呈湍流状态，使其和喷射的液体充分接触。
[0011]进一步的，所述钢瓶加热装置包括底座、支撑杆、两个加热瓦，所述支撑杆设置在底座上，所述支撑杆上安装有若干个均匀分布的合页，两个加热瓦安装在合页上，两个加热瓦上之间设有若干个连接件；第一钢瓶设置在两个加热瓦之间。
[0012]优选的，所述连接件包括卡扣、连接板，所述连接板的一侧铰接安装在一个加热瓦上，连接板的另一侧设有卡扣，另一个加热瓦上设有与卡扣配合的突起。
[0013]进一步的，所述脱酸塔的底部设有液位计，所述液位计设置在脱酸装置的底部。
[0014]进一步的，进气管道的一端与钢瓶加热装置的顶部连接，进气管道的另一端与脱
酸塔连接，进气管道的位置与脱酸装置的底部对应；
[0015]出气管道的一端与脱酸塔连接，出气管道的另一端与第二钢瓶连接，出气管道的位置与脱酸装置的顶部对应。
[0016]进一步的，所述第一温控装置的位置设置在脱酸装置的底部。
[0017]进一步的，所述脱酸塔的外壁上设有保温层。通过保温层能够维持脱酸塔内的温度。
[0018]进一步的，所述脱酸塔的底部设有加液口，加液口设置在下挡板的下方。加液口能够对脱酸塔内的液体进行补充。
[0019]进一步的，所述冷凝装置包括冷却桶，所述第二钢瓶设置在冷却桶内，冷却桶的上方设有冷却液进口，冷却桶的下方设有冷却液出口。
[0020]进一步的，进气管道的外侧壁上设有电伴热带组件，第一钢瓶上设有第三温控组件，所述第三温控组件与加热瓦电性连接。能够实现对六氟丁二烯气体的初步加热。
[0021]冷却液进口处设有冷却液进口阀门，冷却液出口处设有冷却液出口阀门；所述第二温控装置分别与冷却液进口阀门、冷却液出口阀门电性连接。
[0022]所述第一温控装置与电伴热带组件电性连接，以保证脱酸装置温度在20℃以上，避免因温度过低，导致六氟丁二烯液化。
[0023]相对于现有技术，本技术所述的一种六氟丁二烯的高效脱酸处理装置具有以下有益效果：
[0024]1、脱酸装置中的通液管有喷头，可实现液体的均匀分散，螺旋筛板对气体流向形成湍流干扰，增加六氟丁二烯的脱酸效率，进而降低六氟丁二烯的酸度。
[0025]2、该套装置包含钢瓶加热装置、脱酸塔以及冷凝装置，第一钢瓶可方便进行加热，且脱酸装置上有第一温控装置和保温层，防止温度较低条件下，六氟丁二烯液化增加损失。
附图说明
[0026]构成本技术的一部分的附图用来提供对本技术的进一步理解，本技术的示意性实施例及其说明用于解释本技术，并不构成对本技术的不当限定。在附图中：
[0027]图1为本技术实施例所述的一种六氟丁二烯的高效脱酸处理装置示意图；
[0028]图2为本技术实施例所述的一种六氟丁二烯的高效脱酸处理装置的液通管示意图；
[0029]图3为本技术实施例所述的一种六氟丁二烯的高效脱酸处理装置的钢瓶加热装置示意图；
[0030]图4为本技术实施例所述的一种六氟丁二烯的高效脱酸处理装置的倾斜隔示意图。
[0031]附图标记说明：
[0032]1、钢瓶加热装置；11、进气管道；1a、加热瓦；1b、支撑杆；1c、合页；1d、连接件；1f、底座；1g、第三温控装置；23a、网孔；12、第一钢瓶；2、脱酸塔；21、通液管；22、喷头；23、倾斜隔板；24、第一温控装置；25、保温层；26、进液管；27、出气管道；28、加液口；29、循环水泵；210、液位计；211、上挡板；212、下挡板；213、出液管；3、冷凝装置；31、冷却液进口；32、冷却
液出口；33、第二温控装置；34、第二钢瓶。
具体实施方式
[0033]需要说明的是，在不冲突的情况下，本技术中的实施例及实施例中的特征可以相互组合。
[0034]下面将参考附图并结合实施例来详细说明本技术。
[0035]一种六氟丁二烯的高效脱酸处理装置，包括第一钢瓶12、脱酸塔2、第二钢瓶34，所述第一钢瓶12通过进气管道11与脱酸塔2连接，脱酸塔2通过出气管道27与第二钢瓶34连接；第一钢瓶12上设有钢瓶加热装置1；脱酸塔2内设有脱酸装置，脱酸塔2的底部设有出液管213，脱酸塔2的顶部设有进液管26，出液管213与进液管26之间设有循环水泵29，脱酸塔2上设有第一温控装置24；第二钢瓶34上设有第二温控装置33和冷凝装置3。
[0036]脱酸装置包括上挡板211、下挡板212、若干个通液管21，所述上挡板211和下挡板212从上到下固定设置再脱酸塔2的内部，若干个通液管21设置在上挡板211和下挡板212之间，通液管21上设有若干个均匀分布的喷头22。通液管21上设有均匀分布的若干个倾斜隔板23，倾斜隔板23上设有若干个网孔23a，本装置通过倾斜隔板23能够有效使气体呈湍流状态，使其和喷射的液体充分接触。钢瓶加本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种六氟丁二烯的高效脱酸处理装置，其特征在于：包括第一钢瓶(12)、脱酸塔(2)、第二钢瓶(34)，所述第一钢瓶(12)通过进气管道(11)与脱酸塔(2)连接，脱酸塔(2)通过出气管道(27)与第二钢瓶(34)连接；第一钢瓶(12)上设有钢瓶加热装置(1)；脱酸塔(2)内设有脱酸装置，脱酸塔(2)的底部设有出液管(213)，脱酸塔(2)的顶部设有进液管(26)，出液管(213)与进液管(26)之间设有循环水泵(29)，脱酸塔(2)上设有第一温控装置(24)；第二钢瓶(34)上设有第二温控装置(33)和冷凝装置(3)。2.根据权利要求1所述的一种六氟丁二烯的高效脱酸处理装置，其特征在于：所述脱酸装置包括上挡板(211)、下挡板(212)、若干个通液管(21)，所述上挡板(211)和下挡板(212)从上到下固定设置再脱酸塔(2)的内部，若干个通液管(21)设置在上挡板(211)和下挡板(212)之间，通液管(21)上设有若干个均匀分布的喷头(22)。3.根据权利要求2所述的一种六氟丁二烯的高效脱酸处理装置，其特征在于：通液管(21)上设有均匀分布的若干个倾斜隔板(23)，倾斜隔板(23)上设有若干个网孔(23a)。4.根据权利要求1所述的一种六氟丁二烯的高效脱酸处理装置，其特征在于：所述钢瓶加热装置(1)包括底座(1f)、支撑杆(1b)、两个加热瓦(1a)，所述支撑杆(1b)设置在底座(1f)上，所述支撑杆(1b)上安装有若干个均匀分布的合页(1c)，两个加热瓦(1a)安装在合页(1c)上，两个加热瓦(1a)上之间设有若干个连接件(1d)；第一钢瓶(12)设置在两个加热瓦(1a)之间。5.根据权利要求1所述的一种六...
【专利技术属性】
技术研发人员：杨振建，崔录芳，汤萍，杜志勇，邸士强，
申请(专利权)人：绿菱电子材料天津有限公司，
类型：新型
国别省市：
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