本实用新型专利技术提供了一种高纯四氟化硅尾气处理装置，包括预处理箱、喷淋塔、沉降组件及蓄水池，预处理箱内通过挡板分为水处理室及碱处理室，挡板上端与预处理箱之间留有间隙，水处理室连通有尾气进气管，碱处理室与喷淋塔进气管连通，喷淋塔内设有多组喷淋头，喷淋塔底部的排液口与沉降组件的进液口连通，沉降组件的出液口与蓄水池的进液口连通，蓄水池的出液口与喷淋头连通。本实用新型专利技术所述的高纯四氟化硅尾气处理装置通过在预处理箱中依次进行水处理及碱处理去除尾气中的大部分四氟化硅，减少进入喷淋塔中的四氟化硅气体量，减少对喷淋头的影响，从而确保装置的持续稳定运行，提高生产效率，同时实现四氟化硅的尾气深度有效地脱除。除。除。
【技术实现步骤摘要】
一种高纯四氟化硅尾气处理装置
[0001]本技术属于尾气处理
，尤其是涉及一种高纯四氟化硅尾气处理装置。
技术介绍
[0002]高纯四氟化硅的生产及精馏过程中会定期排出尾气，尾气中主要成分是四氟化硅，四氟化硅在水溶液中水解形成氟硅酸并伴随着一定量的二氧化硅沉淀，以及少量粘稠混合物质，常规的喷淋塔包含喷淋头、填料、滤网等，四氟化硅经水吸收后会大量附着在尾气处理塔的喷淋头、填料、过滤网，影响喷淋塔的使用寿命和处理效果，需要长时间频繁停机检修清理。同时四氟化硅尾气处理废液也做废弃物处理，资源浪费的同时也不利于节能环保。
技术实现思路
[0003]有鉴于此，本技术旨在提出一种高纯四氟化硅尾气处理装置，以实现对高纯四氟化硅尾气的深度处理，同时减少对处理装置的干扰，确保装置的长时间持续运行，处理后所得沉淀物可作为生产氟化氢的高附加值原料。
[0004]为达到上述目的，本技术的技术方案是这样实现的：
[0005]一种高纯四氟化硅尾气处理装置，包括预处理箱、喷淋塔、沉降组件及蓄水池，
[0006]所述预处理箱内设有竖直的挡板，所述挡板将预处理箱分为水处理室及碱处理室，挡板上端与预处理箱上端之间留有间隙，所述水处理室侧壁连通有尾气进气管，水处理室上端连通有进水管，下端连通有水处理排污口，所述碱处理室侧壁通过管道与喷淋塔进气管连通，碱处理室上端连通有补碱液管，下端连通有碱处理排污口，
[0007]所述喷淋塔内自下而上设有多组喷淋头，喷淋塔底部的排液口通过管道与沉降组件的进液口连通，/>[0008]所述沉降组件的出液口通过管道与蓄水池的进液口连通，
[0009]所述蓄水池的出液口通过管道与喷淋头连通，蓄水池上端还连通有补水口。
[0010]进一步地，所述沉降组件包括物理沉淀池及化学沉淀池，
[0011]所述物理沉淀池的进液口与喷淋塔底部的排液口通过管道连通，物理沉淀池内设有竖直过滤网，物理沉淀池的进液口与竖直过滤网之间的物理沉淀池底部设有物理沉淀排污口，
[0012]所述化学沉淀池内设有水平过滤网，化学沉淀池底部的进液口通过管道与物理沉淀池的出液口连通，化学沉淀池顶部的出液口通过管道与蓄水池的进液口连通，化学沉淀池顶部还连通有补试剂管，底部还设有化学沉淀排污口。
[0013]进一步地，所述物理沉淀池及化学沉淀池内均设有液位计。
[0014]进一步地，所述喷淋塔设有多级，多级喷淋塔依次连通。
[0015]进一步地，所述喷淋塔上设有视窗。
[0016]进一步地，沉降组件的出液口与蓄水池的进液口之间的管道上设有循环泵。
[0017]进一步地，蓄水池的出液口与喷淋头之间的管道上设有喷淋泵。
[0018]进一步地，所述沉降组件并联设有多个。
[0019]相对于现有技术，本技术所述的高纯四氟化硅尾气处理装置具有以下优势：
[0020](1)本技术所述的高纯四氟化硅尾气处理装置通过在预处理箱中依次进行水处理及碱处理去除尾气中的大部分四氟化硅，减少进入喷淋塔中的四氟化硅气体量，减少对喷淋头的影响，从而确保装置的持续稳定运行，提高生产效率，同时实现四氟化硅的尾气深度有效地脱除，此外，经过预处理箱和喷淋塔可实现四氟化硅尾气的深度处理，沉淀物可作为生产氟化氢的高附加值原料；
[0021](2)本技术所述的高纯四氟化硅尾气处理装置的喷淋塔上设有视窗，便于观察喷淋塔情况，同时通过视窗可以对堵塞的喷淋头及时进行清理，极大提高了便利性。
附图说明
[0022]构成本技术的一部分的附图用来提供对本技术的进一步理解，本技术的示意性实施例及其说明用于解释本技术，并不构成对本技术的不当限定。在附图中：
[0023]图1为本技术实施例所述的高纯四氟化硅尾气处理装置的结构示意图。
[0024]附图标记说明：
[0025]1、尾气进气管；2、预处理箱；21、水处理排污口；22、挡板；23、进水管；24、补碱液管；25、碱处理排污口；3、喷淋塔；31、视窗；32、喷淋头；4、物理沉淀池；41、竖直过滤网；42、物理沉淀排污口；43、第一液位计；5、化学沉淀池；51、水平过滤网；52、补试剂管；53、化学沉淀排污口；6、循环泵；7、蓄水池；71、补水口；8、喷淋泵。
具体实施方式
[0026]需要说明的是，在不冲突的情况下，本技术中的实施例及实施例中的特征可以相互组合。
[0027]在本技术的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“纵向”、“横向”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本技术和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本技术的限制。此外，术语“第一”、“第二”等仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”等的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征。在本技术的描述中，除非另有说明，“多个”的含义是两个或两个以上。
[0028]在本技术的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以通过具体情况理解上述术语在本技术中的具体含义。
[0029]下面将参考附图并结合实施例来详细说明本技术。
[0030]如图1所示，本实施例中的高纯四氟化硅尾气处理装置，包括预处理箱2、喷淋塔3、沉降组件及蓄水池7，
[0031]预处理箱2内设有竖直的挡板22，挡板22将预处理箱2分为水处理室及碱处理室，挡板22上端与预处理箱2上端之间留有间隙，水处理室侧壁连通有尾气进气管1，水处理室上端连通有进水管23，下端连通有水处理排污口21，碱处理室侧壁通过管道与喷淋塔3进气管连通，碱处理室上端连通有补碱液管24，下端连通有碱处理排污口25，
[0032]喷淋塔3设有两级，一级喷淋塔3顶部的出气管与二级喷淋塔3的进气管通过管道连通，喷淋塔3内自下而上设有三个喷淋头组，每组包括三个喷淋头32，喷淋塔3上设有视窗31，视窗31可打开也可与喷淋塔3密封连接，两级喷淋塔3底部的排液口分别通过管道与沉降组件的进液口连通，
[0033]沉降组件并联设有两个，两个沉降组件分别与两级喷淋塔3底部一一对应连通，每个沉降组件包括物理沉淀池4及化学沉淀池5，物理沉淀池4内设有第一液位计43，化学沉淀池5内均设有第二液位计，通过液位计可以观察沉淀池内的液面高度，防止液面过高或过低影响沉降效果，
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【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种高纯四氟化硅尾气处理装置，其特征在于：包括预处理箱、喷淋塔、沉降组件及蓄水池，所述预处理箱内设有竖直的挡板，所述挡板将预处理箱分为水处理室及碱处理室，挡板上端与预处理箱上端之间留有间隙，所述水处理室侧壁连通有尾气进气管，水处理室上端连通有进水管，所述碱处理室侧壁通过管道与喷淋塔进气管连通，碱处理室上端连通有补碱液管，所述喷淋塔内自下而上设有多组喷淋头，喷淋塔底部的排液口通过管道与沉降组件的进液口连通，所述沉降组件的出液口通过管道与蓄水池的进液口连通，所述蓄水池的出液口通过管道与喷淋头连通。2.根...
【专利技术属性】
技术研发人员：杨振建，王新鹏，王维佳，崔录芳，邸士强，
申请(专利权)人：绿菱电子材料天津有限公司，
类型：新型
国别省市：
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